[實(shí)用新型]一種激光功率在線監(jiān)測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023071591.1
• 申請(qǐng)日: 2020-12-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214040353U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 左銳;湯子文;許維;雷桂明;王雪輝;王建剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G01J1/42
• 分類號(hào): G01J1/42;G01J1/20;B23K26/70
• 代理公司: 南京縱橫知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32224
• 代理人: 徐瑛

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種激光功率在線監(jiān)測(cè)裝置，包括光路塊，所述光路塊的頂面設(shè)有第一通光孔和第二通光孔，所述第一通光孔與第二通光孔平行；所述第一通光孔貫穿光路塊的底面，所述第一通光孔內(nèi)嵌設(shè)有分光鏡組，所述第二通光孔內(nèi)嵌設(shè)有反射鏡組，所述反射鏡組與分光鏡組之間設(shè)有光路通道，所述光路通道與第一通光孔/第二通光孔垂直，所述反射鏡組的反射面與分光鏡組的反射面相對(duì)；光路塊的頂面對(duì)應(yīng)第二通光孔的位置設(shè)有功率監(jiān)測(cè)模塊；激光器發(fā)出的激光由第一通光孔射入光路塊，經(jīng)分光鏡組分光變?yōu)閮墒す猓皇高^(guò)分光鏡組從第一通光孔底部射出，用于激光加工；另一束經(jīng)分光鏡組反射后，再經(jīng)反射鏡組反射至功率監(jiān)測(cè)模塊，對(duì)激光束進(jìn)行功率監(jiān)測(cè)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光功率在線監(jiān)測(cè)裝置。

背景技術(shù)

隨著激光技術(shù)不斷發(fā)展，激光在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。在激光加工過(guò)程中，激光功率過(guò)高或過(guò)低都會(huì)影響加工質(zhì)量。對(duì)于某些部件，激光功率過(guò)高會(huì)造成毛邊；功率過(guò)低則無(wú)法穿透。因此，為了提高加工質(zhì)量，對(duì)激光功率進(jìn)行監(jiān)測(cè)變得至關(guān)重要。

中國(guó)專利CN201721352500.7公開(kāi)了一種激光功率檢測(cè)裝置，該裝置包括：第一夾持塊、第二夾持塊、光電采集板、光電傳感器；第一夾持塊和第二夾持塊組合安裝在一起，光電采集板通過(guò)轉(zhuǎn)接板固定裝設(shè)在第二夾持塊上，光電傳感器內(nèi)嵌于第二夾持塊上，且與光電采集板電性連接；第二夾持塊內(nèi)部設(shè)置有平行光通孔，光電傳感器設(shè)置于平行光通孔的一側(cè)。該裝置整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可以精確實(shí)現(xiàn)對(duì)激光功率的實(shí)時(shí)檢測(cè)和調(diào)控。由于將光電傳感器直接放置于激光加工的主光路上，高能激光束直接照射于傳感器表面，容易造成傳感器損傷，從而降低激光功率檢測(cè)裝置的可靠性和使用壽命。

中國(guó)專利CN201621160829.9公開(kāi)了一種3D打印設(shè)備激光功率檢測(cè)裝置，包括激光功率檢測(cè)芯片、底座，所述激光功率檢測(cè)芯片固定設(shè)置在底座內(nèi)，其中還包括蓋板、保護(hù)鏡片、保護(hù)蓋、磁鐵，所述蓋板固定于底座的表面，蓋板表面設(shè)置有安裝槽、所述保護(hù)鏡片固定設(shè)置在安裝槽內(nèi)。該裝置通過(guò)在底座表面設(shè)置有蓋板、保護(hù)鏡片、保護(hù)蓋，實(shí)現(xiàn)了對(duì)激光功率檢測(cè)芯片的多重保護(hù)。但蓋板、保護(hù)鏡片、保護(hù)蓋等部件降低加工激光束的能力和質(zhì)量，影響激光加工質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，提供一種激光功率在線監(jiān)測(cè)裝置，能夠有效可靠的監(jiān)測(cè)激光功率并提高激光加工質(zhì)量。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：

一種激光功率在線監(jiān)測(cè)裝置，包括光路塊，所述光路塊的頂面設(shè)有第一通光孔和第二通光孔，所述第一通光孔與第二通光孔平行；所述第一通光孔貫穿光路塊的底面，所述第一通光孔內(nèi)嵌設(shè)有分光鏡組，所述第二通光孔內(nèi)嵌設(shè)有反射鏡組，所述反射鏡組與分光鏡組之間設(shè)有光路通道，所述光路通道與第一通光孔/第二通光孔垂直，所述反射鏡組的反射面與分光鏡組的反射面相對(duì)；所述光路塊的頂面對(duì)應(yīng)第二通光孔的位置設(shè)有功率監(jiān)測(cè)模塊；激光器發(fā)出的激光由第一通光孔射入光路塊，經(jīng)分光鏡組分光變?yōu)閮墒す猓皇高^(guò)分光鏡組從第一通光孔底部射出，用于激光加工；另一束經(jīng)分光鏡組反射后，再經(jīng)反射鏡組反射至功率監(jiān)測(cè)模塊，對(duì)激光束進(jìn)行功率監(jiān)測(cè)。

具體地，所述光路塊的底面對(duì)應(yīng)第一通光孔的位置設(shè)有轉(zhuǎn)接板，所述轉(zhuǎn)接板中部設(shè)有與所述第一通光孔對(duì)應(yīng)的通孔，所述分光鏡組安裝在轉(zhuǎn)接板的頂面。所述轉(zhuǎn)接板的底部用于安裝激光切割頭或振鏡等。

進(jìn)一步地，所述分光鏡組包括分光鏡座和安裝在所述分光鏡座上的分光鏡片，所述分光鏡座安裝在轉(zhuǎn)接板頂面；所述分光鏡片與水平方向的夾角為45°。

進(jìn)一步地，所述反射鏡組包括反射鏡座和安裝在所述反射鏡座上的反射鏡片，所述反射鏡片與分光鏡片垂直，所述反射鏡片的反射面與分光鏡片的反射面相對(duì)。

進(jìn)一步地，所述光路塊的前側(cè)面設(shè)有安裝孔，所述安裝孔分別與第二通光孔、光路通道垂直，所述反射鏡座安裝在所述安裝孔內(nèi)。