[實(shí)用新型]一種具有自動(dòng)停止裝置的藍(lán)寶石雙面拋光機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023022847.X
• 申請(qǐng)日: 2020-12-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213795934U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 裴亞利;趙雪振;操應(yīng)軍;朱曉輝;劉陽(yáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京航天賽德科技發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B37/08
• 分類(lèi)號(hào): B24B37/08;B24B37/005;B24B37/34;B24B49/12;B24B55/00
• 代理公司: 北京方韜法業(yè)專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 11303
• 代理人: 馬麗蓮

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種具有自動(dòng)停止裝置的藍(lán)寶石雙面拋光機(jī)，所述自動(dòng)停止裝置包括支架、激光位移傳感器和探測(cè)模塊，所述支架包括呈倒置的L形，包括豎直段和水平段，所述水平段為伸縮桿結(jié)構(gòu)并與豎直段轉(zhuǎn)動(dòng)連接，使得水平段能夠在水平平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)且長(zhǎng)度能夠調(diào)整；所述激光位移傳感器安裝在支架水平段末端，激光豎直向下發(fā)射；所述探測(cè)模塊與激光位移傳感器電連接；所述支架安裝在機(jī)臺(tái)上，并使激光位移傳感器位于拋光盤(pán)的上方，激光位移傳感器監(jiān)測(cè)拋光盤(pán)位移量，探測(cè)模塊根據(jù)位移量控制拋光機(jī)的停止。本實(shí)用新型能夠自動(dòng)監(jiān)測(cè)是否出現(xiàn)跑片，當(dāng)出現(xiàn)跑片時(shí)及時(shí)停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)行，避免了機(jī)臺(tái)設(shè)備的進(jìn)一步損傷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及藍(lán)寶石雙面拋光加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種具有自動(dòng)停止裝置的藍(lán)寶石雙面拋光機(jī)。

背景技術(shù)

隨著藍(lán)寶石的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，針對(duì)藍(lán)寶石的各種加工方法的研究成為了熱點(diǎn)，尤其是在藍(lán)寶石的研磨和高精密的拋光方面開(kāi)展了大量的研究，化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是目前唯一能夠?qū)崿F(xiàn)藍(lán)寶石晶片全局平面化的實(shí)用核心技術(shù)。然而，CMP拋光仍然存在很多問(wèn)題，例如雙面拋光機(jī)臺(tái)拋光過(guò)程中，由于運(yùn)轉(zhuǎn)不當(dāng)會(huì)導(dǎo)致晶片碎裂，如不及時(shí)急停會(huì)導(dǎo)致拋光盤(pán)產(chǎn)生深劃痕，甚至機(jī)臺(tái)受損。目前，大多數(shù)機(jī)臺(tái)均是人工急停裝置，由于雙面拋光，普遍存在拋光時(shí)間長(zhǎng)，每個(gè)人需要運(yùn)行多臺(tái)拋光機(jī)，有時(shí)機(jī)臺(tái)出現(xiàn)狀況，不能及時(shí)去按急停，導(dǎo)致跑片后，拋光布被劃壞，游星輪變形，甚至嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致機(jī)臺(tái)大盤(pán)被劃傷。

由此可見(jiàn)，現(xiàn)有的拋光機(jī)在結(jié)構(gòu)與使用上存在不足，而亟待進(jìn)一步改進(jìn)。如何能創(chuàng)設(shè)一種具有自動(dòng)停止裝置的藍(lán)寶石雙面拋光機(jī)，實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種具有自動(dòng)停止裝置的藍(lán)寶石雙面拋光機(jī)，使其能夠自動(dòng)監(jiān)測(cè)是否出現(xiàn)跑片，并在發(fā)生跑片后及時(shí)停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)行，避免設(shè)備發(fā)生更嚴(yán)重的損壞，從而克服現(xiàn)有技術(shù)中藍(lán)寶石拋光機(jī)的不足。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種具有自動(dòng)停止裝置的藍(lán)寶石雙面拋光機(jī)，所述自動(dòng)停止裝置包括支架、激光位移傳感器和探測(cè)模塊，其中：

所述支架包括呈倒置的L形，包括豎直段和水平段，所述水平段為伸縮桿結(jié)構(gòu)并與豎直段轉(zhuǎn)動(dòng)連接，使得水平段能夠在水平平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)且長(zhǎng)度能夠調(diào)整；

所述激光位移傳感器安裝在支架水平段末端，激光豎直向下發(fā)射；

所述探測(cè)模塊與激光位移傳感器電連接；

所述支架安裝在機(jī)臺(tái)上，并使激光位移傳感器位于拋光盤(pán)的上方，激光位移傳感器監(jiān)測(cè)拋光盤(pán)位移量，探測(cè)模塊根據(jù)位移量控制拋光機(jī)的停止。

作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述支架的豎直段底部設(shè)置有底座，所述底座用于通過(guò)螺釘與拋光機(jī)的機(jī)臺(tái)連接。

進(jìn)一步地，所述支架的材質(zhì)為316不銹鋼或耐酸堿氟材料。

進(jìn)一步地，所述支架的水平段與豎直段之間設(shè)置有旋轉(zhuǎn)伸縮固定鈕，用于鎖緊水平段的長(zhǎng)度和轉(zhuǎn)動(dòng)角度。

進(jìn)一步地，所述激光位移傳感器的量程為0mm～200mm，精度為偏差＜1mm。

進(jìn)一步地，所述激光位移傳感器的出射激光光線與支架的水平段之間呈90°。

進(jìn)一步地，所述激光位移傳感器在拋光盤(pán)上盤(pán)與拋光盤(pán)下盤(pán)壓合狀態(tài)下，距離拋光盤(pán)上盤(pán)的間距為150mm，間距偏差＜1mm。

進(jìn)一步地，所述探測(cè)模塊設(shè)定自動(dòng)停止的條件為藍(lán)寶石晶片高度與預(yù)設(shè)值之間的偏差大于5mm。

進(jìn)一步地，所述機(jī)臺(tái)上固定兩臺(tái)所述自動(dòng)停止裝置，固定點(diǎn)距離拋光盤(pán)圓心10cm，兩個(gè)固定點(diǎn)對(duì)稱(chēng)設(shè)置于拋光盤(pán)的左前和右后。

采用這樣的設(shè)計(jì)后，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

自動(dòng)監(jiān)測(cè)是否出現(xiàn)跑片，當(dāng)出現(xiàn)跑片時(shí)及時(shí)停止機(jī)臺(tái)的運(yùn)行，避免了機(jī)臺(tái)設(shè)備的進(jìn)一步損傷。