[實用新型]一種基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀有效
| 申請號： | 202023007346.4 | 申請日： | 2020-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN213814027U | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 趙瑛璇;黃海陽;仇超;甘甫烷;盛振 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G02B6/125 | 分類號： | G02B6/125 |
| 代理公司： | 上海泰能知識產權代理事務所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 錢文斌;黃志達 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 分支 對稱 結構 馬赫 曾德爾 干涉儀 | ||
1.一種基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀，包括輸入Y分支波導和輸出Y分支波導，所述輸入Y分支波導和輸出Y分支波導的結構相同，其特征在于，所述輸入Y分支波導的第一輸出端通過第一直波導與輸出Y分支波導的第一輸入端相連；所述輸入Y分支波導的第二輸出端與第一彎曲波導的一端相連，所述輸出Y分支波導的第二輸入端與第二彎曲波導的一端相連，所述第一彎曲波導的另一端與所述第二彎曲波導的另一端通過第二直波導相連；所述第一彎曲波導與第二彎曲波導結構相同，并沿著所述第二直波導的中線對稱。
2.根據權利要求1所述的基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀，其特征在于，所述輸入Y分支波導的第一輸出端和第二輸出端之間的距離與所述輸入Y分支波導輸入端的長度相等；所述輸出Y分支波導的第一輸入端和第二輸入端之間的距離與所述輸出Y分支波導的輸出端長度相等。
3.根據權利要求1所述的基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀，其特征在于，所述輸入Y分支波導的第一輸出端和第二輸出端之間的距離為5μm；所述輸出Y分支波導的第一輸入端和第二輸入端之間的距離為5μm。
4.根據權利要求1所述的基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀，其特征在于，所述第一彎曲波導的一端與另一端之間的距離與所述第一彎曲波導的長度比為3.05：4；所述第二彎曲波導的一端與另一端之間的距離與所述第二彎曲波導的長度比為3.05：4。
5.根據權利要求1所述的基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀，其特征在于，所述第一彎曲波導的一端與另一端之間的距離為3.05μm；所述第一彎曲波導的長度為4μm；所述第二彎曲波導的一端與另一端之間的距離為3.05μm；所述第二彎曲波導的長度為4μm。
6.根據權利要求1所述的基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀，其特征在于，所述第一彎曲波導和第二彎曲波導均為S型彎曲波導。
7.根據權利要求1所述的基于Y分支對稱結構的硅基馬赫曾德爾干涉儀，其特征在于，所述輸入Y分支波導和輸出Y分支波導在分支部分均采用弧形設計。
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