[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用晶圓清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202023006087.3
• 申請(qǐng)日: 2020-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214262949U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張紹江;朱浩哲;熊劍波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 聚芯芯片科技（常州）股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B08B3/02
• 分類(lèi)號(hào): B08B3/02;H01L21/67
• 代理公司: 常州市科誼專(zhuān)利代理事務(wù)所 32225
• 代理人: 孫彬

一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用晶圓清洗裝置，包括基座，所述基座的頂部固定連接有箱體，所述箱體的頂部和基座的頂部之間設(shè)置有自動(dòng)清洗裝置，所述自動(dòng)清洗裝置包括驅(qū)動(dòng)座和第一水箱，所述驅(qū)動(dòng)座的內(nèi)腔均對(duì)稱(chēng)轉(zhuǎn)動(dòng)套接有絲桿，所述驅(qū)動(dòng)座的一端均對(duì)稱(chēng)固定連接有伺服電機(jī)，所述絲桿的表面均對(duì)稱(chēng)轉(zhuǎn)動(dòng)套接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板相對(duì)的一面固定連接有連通板，連通板的底部均對(duì)稱(chēng)固定設(shè)置有清洗頭，第一水箱的頂部固定連接有水泵，水泵的輸出端和輸入端均對(duì)稱(chēng)固定聯(lián)通有水管。本實(shí)用新型通過(guò)自動(dòng)清洗裝置，解決現(xiàn)有的晶圓都是通過(guò)人工來(lái)進(jìn)行一個(gè)一個(gè)的清洗，人工清洗的方式會(huì)比較慢，一次只能清洗一個(gè)，無(wú)法對(duì)多個(gè)晶圓進(jìn)行清洗的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用晶圓清洗裝置。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱(chēng)為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.999999999％。

現(xiàn)有的晶圓都是通過(guò)人工來(lái)進(jìn)行一個(gè)一個(gè)的清洗，人工清洗的方式會(huì)比較慢，一次只能清洗一個(gè)，無(wú)法對(duì)多個(gè)晶圓進(jìn)行清洗。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)實(shí)用新型目的

為解決背景技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用晶圓清洗裝置，解決了現(xiàn)有的晶圓都是通過(guò)人工來(lái)進(jìn)行一個(gè)一個(gè)的清洗，人工清洗的方式會(huì)比較慢，一次只能清洗一個(gè)，無(wú)法對(duì)多個(gè)晶圓進(jìn)行清洗的問(wèn)題。

(二)技術(shù)方案

本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用晶圓清洗裝置，包括基座，所述基座的頂部固定連接有箱體，所述箱體的頂部和基座的頂部之間設(shè)置有自動(dòng)清洗裝置；

所述自動(dòng)清洗裝置包括驅(qū)動(dòng)座和第一水箱，所述驅(qū)動(dòng)座的內(nèi)腔均對(duì)稱(chēng)轉(zhuǎn)動(dòng)套接有絲桿，所述驅(qū)動(dòng)座的一端均對(duì)稱(chēng)固定連接有伺服電機(jī)，所述絲桿的表面均對(duì)稱(chēng)轉(zhuǎn)動(dòng)套接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板相對(duì)的一面固定連接有連通板，所述連通板的底部均對(duì)稱(chēng)固定設(shè)置有清洗頭，所述第一水箱的頂部固定連接有水泵，所述水泵的輸出端和輸入端均對(duì)稱(chēng)固定聯(lián)通有水管，所述第一水箱的頂部固定設(shè)置有進(jìn)水口，所述第一水箱的一側(cè)固定連通有出水口。

優(yōu)選的，所述水管的另一端固定連通在連通板的表面上。

優(yōu)選的，所述驅(qū)動(dòng)座均對(duì)稱(chēng)固定在箱體的頂部上，所述第一水箱固定在基座的頂部。

優(yōu)選的，所述移動(dòng)板與驅(qū)動(dòng)座的內(nèi)腔均相互吻合。

優(yōu)選的，所述箱體的內(nèi)腔固定連接有清洗板，所述清洗板的表面均對(duì)稱(chēng)固定連通有通孔。

優(yōu)選的，所述清洗板的底部固定連接有加熱板。

優(yōu)選的，所述箱體內(nèi)腔的底部設(shè)置有第二水箱。

優(yōu)選的，所述箱體的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有外封門(mén)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案具有如下有益的技術(shù)效果：通過(guò)打開(kāi)進(jìn)水口，向進(jìn)水口內(nèi)腔注入水，使水進(jìn)入到第一水箱中，以及將多個(gè)晶圓放在清洗板的表面上，在啟動(dòng)水泵，使水泵的輸出端和輸入端均通過(guò)水管將第一水箱的水輸入到連通板中，在通過(guò)清洗頭來(lái)進(jìn)行噴灑，在啟動(dòng)伺服電機(jī)，使伺服電機(jī)的輸出端帶動(dòng)絲桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使絲桿表面的移動(dòng)板進(jìn)行由左到右移動(dòng)，來(lái)對(duì)清洗板表面的晶圓全部進(jìn)行輕微的清洗，去除晶圓表面的灰塵，清洗后的污水會(huì)通過(guò)通孔流進(jìn)第二水箱的內(nèi)腔中，在啟動(dòng)加熱板來(lái)對(duì)清洗板進(jìn)行加熱，對(duì)清洗板表面的晶圓進(jìn)行烘干，在將烘干好的晶圓取出，在打開(kāi)外封門(mén)，將水箱取出來(lái)進(jìn)行清理，解決現(xiàn)有的晶圓都是通過(guò)人工來(lái)進(jìn)行一個(gè)一個(gè)的清洗，人工清洗的方式會(huì)比較慢，一次只能清洗一個(gè)，無(wú)法對(duì)多個(gè)晶圓進(jìn)行清洗的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明