[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體行業(yè)電控調(diào)試的廢水處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022993802.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214829496U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝愉;董廷寰;曹升全;張冠華;肖春林
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州格勝環(huán)保設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C02F9/04
• 分類號(hào): C02F9/04;G01N33/18
• 代理公司: 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32257
• 代理人: 王佳麗

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體行業(yè)電控調(diào)試的廢水處理裝置，具體涉及半導(dǎo)體廢水處理領(lǐng)域，包括儲(chǔ)水池，所述儲(chǔ)水池一側(cè)設(shè)有沉淀池，所述沉淀池的連接端依次設(shè)有反應(yīng)池、一號(hào)過(guò)濾池和二號(hào)過(guò)濾池，且一號(hào)過(guò)濾池位于反應(yīng)池與二號(hào)過(guò)濾池之間，所述二號(hào)過(guò)濾池一側(cè)設(shè)有檢測(cè)池，所述檢測(cè)池的連接端設(shè)有回處理池；所述反應(yīng)池一端設(shè)有一號(hào)儲(chǔ)水筒，所述一號(hào)過(guò)濾池一端設(shè)有二號(hào)儲(chǔ)水筒，所述二號(hào)過(guò)濾池一端設(shè)有三號(hào)儲(chǔ)水筒。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置反應(yīng)池、一號(hào)過(guò)濾池和二號(hào)過(guò)濾池，便于根據(jù)半導(dǎo)體不同生產(chǎn)線產(chǎn)生的不同成分的廢水制定快速處理方式，可單獨(dú)或依次進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)、一次過(guò)濾和二次過(guò)濾工作，使用靈活，適應(yīng)性更好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體廢水處理領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，本實(shí)用涉及一種半導(dǎo)體行業(yè)電控調(diào)試的廢水處理裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體廠廢水之來(lái)源可略分為制程廢水、純水系統(tǒng)之廢水、廢氣洗滌中和液廢水等三種，各排放水可分為直接排放及回收處理方式。

現(xiàn)有的半導(dǎo)體行業(yè)電控調(diào)試的廢水處理裝置在使用時(shí)，不便根據(jù)半導(dǎo)體不同生產(chǎn)線產(chǎn)生的不同成分的廢水制定快速處理方式，不能單獨(dú)或依次進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)、一次過(guò)濾和二次過(guò)濾工作，使用靈活，適應(yīng)性更好。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種半導(dǎo)體行業(yè)電控調(diào)試的廢水處理裝置，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：如何根據(jù)半導(dǎo)體不同生產(chǎn)線產(chǎn)生的不同成分的廢水制定快速處理方式，單獨(dú)或依次進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)、一次過(guò)濾和二次過(guò)濾工作。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體行業(yè)電控調(diào)試的廢水處理裝置，包括儲(chǔ)水池，所述儲(chǔ)水池一側(cè)設(shè)有沉淀池，所述沉淀池的連接端依次設(shè)有反應(yīng)池、一號(hào)過(guò)濾池和二號(hào)過(guò)濾池，且一號(hào)過(guò)濾池位于反應(yīng)池與二號(hào)過(guò)濾池之間，所述二號(hào)過(guò)濾池一側(cè)設(shè)有檢測(cè)池，所述檢測(cè)池的連接端設(shè)有回處理池；

所述反應(yīng)池一端設(shè)有一號(hào)儲(chǔ)水筒，所述一號(hào)過(guò)濾池一端設(shè)有二號(hào)儲(chǔ)水筒，所述二號(hào)過(guò)濾池一端設(shè)有三號(hào)儲(chǔ)水筒，所述反應(yīng)池與一號(hào)儲(chǔ)水筒之間、一號(hào)過(guò)濾池與二號(hào)儲(chǔ)水筒之間及二號(hào)過(guò)濾池與三號(hào)儲(chǔ)水筒之間均固定連接輸送管和回流管，且回流管位于輸送管一側(cè)，所述一號(hào)儲(chǔ)水筒、二號(hào)儲(chǔ)水筒和三號(hào)儲(chǔ)水筒內(nèi)部均固定安裝輸送泵和回流泵，所述輸送泵與輸送管之間連通設(shè)置，所述回流泵與回流管之間連通設(shè)置；

所述檢測(cè)池內(nèi)部固定安裝質(zhì)量檢測(cè)器，所述回處理池內(nèi)部設(shè)有連通管，且連通管分別對(duì)應(yīng)一號(hào)儲(chǔ)水筒、二號(hào)儲(chǔ)水筒及三號(hào)儲(chǔ)水筒各設(shè)置兩組。

實(shí)施方式為：儲(chǔ)水池內(nèi)部廢水通過(guò)水泵通入沉淀池內(nèi)部進(jìn)行沉淀，沉淀一段時(shí)間后，清理漂浮物及沉淀物，再將廢水通入反應(yīng)池內(nèi)部，可在反應(yīng)池內(nèi)部進(jìn)行中和或其它化學(xué)反應(yīng)，當(dāng)反應(yīng)結(jié)束后無(wú)固體有害物質(zhì)產(chǎn)生時(shí)，關(guān)閉一號(hào)帶閥管道的閥門，通過(guò)一號(hào)儲(chǔ)水筒內(nèi)部回流泵可將反應(yīng)后廢水抽至回處理池內(nèi)部直接排出，當(dāng)反應(yīng)后的廢水中帶有固體雜質(zhì)時(shí)，打開(kāi)一號(hào)帶閥管道的閥門，同時(shí)關(guān)閉二號(hào)帶閥管道的閥門，將反應(yīng)后廢水通入一號(hào)過(guò)濾池內(nèi)部，通過(guò)反應(yīng)器可進(jìn)行固液分離的過(guò)濾處理，一次處理后的廢水可達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)，通過(guò)二號(hào)儲(chǔ)水筒內(nèi)部回流泵可將一次處理后的廢水通過(guò)回處理池排出，打開(kāi)二號(hào)帶閥管道的閥門，同時(shí)關(guān)閉三號(hào)帶閥管道的閥門，將一次處理后的廢水通入二號(hào)過(guò)濾池內(nèi)部，通過(guò)過(guò)濾器可進(jìn)行二次過(guò)濾處理，使二次處理后的廢水達(dá)到回用標(biāo)準(zhǔn)，通過(guò)三號(hào)儲(chǔ)水筒內(nèi)部回流泵可將二次處理后的廢水通過(guò)回處理池排出，經(jīng)收集后可再次使用，當(dāng)儲(chǔ)水池內(nèi)部?jī)?chǔ)存混合廢水時(shí)，打開(kāi)一號(hào)帶閥管道、二號(hào)帶閥管道和三號(hào)帶閥管道的閥門，混合廢水通過(guò)沉淀池、反應(yīng)池、一號(hào)過(guò)濾池和二號(hào)過(guò)濾池依次進(jìn)行沉淀、反應(yīng)、一次過(guò)濾和二次過(guò)濾，過(guò)濾后的廢水通過(guò)三號(hào)帶閥管道進(jìn)入檢測(cè)池內(nèi)部，通過(guò)質(zhì)量檢測(cè)器進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，不合格的廢水根據(jù)不合格項(xiàng)回處理，例如檢測(cè)池內(nèi)部的廢水經(jīng)檢測(cè)酸堿性不合格，將檢測(cè)池內(nèi)部廢水通入回處理池內(nèi)部，再通過(guò)連通管、一號(hào)儲(chǔ)水筒內(nèi)部輸送泵和對(duì)應(yīng)的輸送管將不合格廢水回抽至反應(yīng)池內(nèi)部進(jìn)行中和反應(yīng)，在一號(hào)過(guò)濾池和二號(hào)過(guò)濾池內(nèi)部進(jìn)行回處理方式與反應(yīng)池的處理方式相同。

在一個(gè)優(yōu)選地實(shí)施方式中，所述反應(yīng)池與一號(hào)過(guò)濾池之間固定設(shè)有一號(hào)帶閥管道，所述反應(yīng)池與回處理池之間通過(guò)一號(hào)儲(chǔ)水筒連通設(shè)置。