[實用新型]一種氣相沉積鍍膜用上下料掛具機構

有效

• 申請號: 202022985912.2
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN213977864U
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 鄭亮;李鴻飛
• 申請（專利權）人: 江蘇特麗亮鍍膜科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/56
• 代理公司: 無錫睿升知識產權代理事務所(普通合伙) 32376
• 代理人: 張悅

本實用新型涉及一種氣相沉積鍍膜用上下料掛具機構；其特征在于：包括框體、掛載零件的立桿、包裹所述框體的防塵罩、固定所述防塵罩的固定機構、移動所述框體的腳輪和支撐所述框體的支撐機構；所述立桿并列設置在所述框體內；所述框體上所述防塵罩的一側開口；所述固定機構圍繞所述框體并列設置；所述支撐機構設置在所述腳輪上；所述框體設置在所述支撐機構上。解決了現有方案造成的采用立柱支架掛置零件時，零件表面會附著雜質，導致鍍膜質量較低等問題。

技術領域

本實用新型涉及掛具，具體涉及一種氣相沉積鍍膜用上下料掛具機構。

背景技術

一般的，氣相沉積技術表示在真空條件下，采用物理方法，將材料源固體或液體表面氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子,并通過低壓氣體(或等離子體)過程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術。通過氣相沉積技術可以實現在零件表面的鍍膜。但現有方案在鍍膜時所采用將零件掛置在掛具上，再放置在設備內導致鍍膜質量較差。如何解決這個問題變得至關重要。

現有的方案，采用在設備內設置立柱支架，將零件掛置在立柱支架上，上下料采用人工方式搬運。這樣的方案存在以下問題：(1)采用立柱支架掛置零件時，零件表面會附著雜質，導致鍍膜質量較低。

實用新型內容

針對現有技術的不足，本實用新型公開了一種氣相沉積鍍膜用上下料掛具機構，以解決現有技術中采用立柱支架掛置零件時，零件表面會附著雜質，導致鍍膜質量較低等問題。

本實用新型所采用的技術方案如下：

一種氣相沉積鍍膜用上下料掛具機構；

包括框體、掛載零件的立桿、包裹所述框體的防塵罩、固定所述防塵罩的固定機構、移動所述框體的腳輪和支撐所述框體的支撐機構；所述立桿并列設置在所述框體內；所述框體上所述防塵罩的一側開口；所述固定機構圍繞所述框體并列設置；所述支撐機構設置在所述腳輪上；所述框體設置在所述支撐機構上。

進一步的技術方案為：還包括凈化所述框體內空氣的凈化設備；所述凈化設備設置在所述框體頂部；所述凈化設備進口連通所述框體內。

進一步的技術方案為：所述框體包括框架、扣住所述立桿的扣件和連接所述立桿的連接件；所述扣件圍繞所述框架頂部設置；所述扣件一側開口；所述連接件圍繞所述框架底部設置；圍繞所述連接件內開設有向下延伸的弧形槽；所述立桿上設置有連接塊；所述連接塊嵌入所述弧形槽內。

進一步的技術方案為：所述固定機構包括掛置在所述框架上的固定板和將所述防塵罩固定在所述固定板上的吸附條；所述框架內側并列開設有掛置槽；所述固定板置于所述掛置槽內；所述固定板靠近所述防塵罩的一側開設有固定槽；所述吸附條和所述防塵罩置于所述固定槽內。

進一步的技術方案為：所述支撐機構包括設置在所述框體底部的腳件、旋轉連接在所述腳件內的撐件和支撐所述腳件的彈性裝置；所述撐件設置在所述腳輪上；所述彈性裝置圍繞所述撐件設置。

進一步的技術方案為：圍繞所述腳件靠近所述撐件的一端開設有錐槽；圍繞所述錐槽開設有限制槽；圍繞所述撐件靠近所述腳件的一端開設有錐面；圍繞所述錐面設置有限制臺；所述錐面貼合所述錐槽；所述限制臺嵌入所述限制槽內。

進一步的技術方案為：所述防塵罩為塑膠防塵罩；所述腳輪為萬向腳輪；所述凈化設備為風機過濾機組。