[實(shí)用新型]一種多尺寸多晶向藍(lán)寶石晶棒定向雙面磨夾具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202022971639.8 | 申請(qǐng)日: | 2020-12-11 |
| 公開(公告)號(hào): | CN214603769U | 公開(公告)日: | 2021-11-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 石剛;楊華;陳超 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江晶瑞電子材料有限公司 |
| 主分類號(hào): | B24B41/06 | 分類號(hào): | B24B41/06 |
| 代理公司: | 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 33212 | 代理人: | 周世駿 |
| 地址: | 312300 浙江省紹興*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 尺寸 多晶 藍(lán)寶石 定向 雙面 夾具 | ||
本實(shí)用新型涉及晶棒定向磨削技術(shù)領(lǐng)域,旨在提供一種多尺寸多晶向藍(lán)寶石晶棒定向雙面磨夾具。該夾具包括研磨底座和法蘭套筒,后者包括套筒本體,其頂端和底端設(shè)法蘭,套筒設(shè)于研磨底座上端面;研磨底座上端面還設(shè)有多個(gè)T型槽,T型槽內(nèi)設(shè)有T型螺桿,壓板上開有螺紋孔并穿過T型螺桿,壓板一端壓緊套筒底部法蘭,壓板另一端與研磨底座間設(shè)有墊塊,用于保證壓板的水平,T型螺桿上還設(shè)有鎖緊螺母用于鎖緊壓板。套筒本體側(cè)壁上還設(shè)有多個(gè)螺孔,螺釘穿過螺孔并與設(shè)于套筒內(nèi)部的頂頭相連,頂頭與藍(lán)寶石晶棒接觸,并能通過螺釘?shù)男o固定藍(lán)寶石晶棒。本實(shí)用新型可提高定向效率,避免同根晶棒兩次定向,提高了晶棒定向精度,提升晶棒雙面磨效率。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型是關(guān)于藍(lán)寶石晶棒的定向磨削工藝領(lǐng)域,特別涉及一種多尺寸多晶相藍(lán)寶石晶棒定向雙面磨固定夾具。
背景技術(shù)
傳統(tǒng)的藍(lán)寶石晶棒在定向雙面磨時(shí)的晶棒裝夾方式大多數(shù)為粘膠或者三抓卡盤,粘膠效率低,工作量大,需要對(duì)同一根藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行二次定向,三抓卡盤則晶向定向精度低,而且傳統(tǒng)的粘膠和三抓卡盤方式需要在晶錠定向時(shí)保證高精度,在雙面磨時(shí)無法調(diào)整角度,也增加了晶棒雙面磨過程中出現(xiàn)脫膠,晶向超標(biāo)等很多的風(fēng)險(xiǎn),晶棒雙面磨品質(zhì)也不盡人意。在藍(lán)寶石晶棒大量量產(chǎn)的情況下傳統(tǒng)的晶棒雙面磨加工方式早已不能滿足生產(chǎn)需求。這樣的作業(yè)方式一直給相關(guān)企業(yè)帶來嚴(yán)重困擾,所以在日趨激烈的競(jìng)爭(zhēng)中,如何提高晶錠的裝夾效率、生產(chǎn)效率,特別是尋找一種能滿足多尺寸、多晶向藍(lán)寶石晶棒定向雙面磨夾具,一直是各企業(yè)的重要目標(biāo)。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種多尺寸多晶向藍(lán)寶石晶棒雙面磨夾具。
為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型的解決方案是:
提供一種多尺寸多晶相藍(lán)寶石晶棒定向雙面磨夾具,包括研磨底座和套筒。套筒為法蘭套筒,包括套筒本體,套筒本體頂端和底端分別設(shè)有尺寸一致的兩個(gè)法蘭,套筒設(shè)于研磨底座上端面,套筒底端法蘭外緣的研磨底座上端面設(shè)有多個(gè)T型槽,T型槽內(nèi)設(shè)有T型螺桿,壓板上開有螺紋孔并穿過T型螺桿,壓板一端壓緊套筒底部法蘭,壓板另一端與研磨底座間設(shè)有墊塊,用于保證壓板的水平,T型螺桿上還設(shè)有鎖緊螺母用于鎖緊壓板。
套筒本體側(cè)壁上還設(shè)有多個(gè)螺孔,螺釘穿過螺孔并與設(shè)于套筒內(nèi)部的頂頭相連,頂頭與藍(lán)寶石晶棒接觸,并能通過螺釘?shù)男o固定藍(lán)寶石晶棒。
作為一種改進(jìn),鎖緊螺母為1型六角螺母。
作為一種改進(jìn),頂頭為黃銅頂頭或尼龍頂頭。
作為一種改進(jìn),螺釘為內(nèi)六角圓柱頭螺釘M10,螺釘?shù)穆輻U一端是外圓螺紋,與頂頭連接,另一端加工成內(nèi)六角形的頭部。
作為一種改進(jìn),螺釘與套筒外壁間還設(shè)有鎖緊板。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:
1、本實(shí)用新型可以提高定向效率,避免同根晶棒兩次定向,提高了晶棒定向精度,提升晶棒雙面磨效率。
2、本實(shí)用新型不僅適用于10~110mm的晶棒的定向裝夾雙面磨,同時(shí)也滿足A向、C向、M向定向雙面磨要求。
附圖說明
圖1為本實(shí)用新型的主視圖。
圖2為本實(shí)用新型的俯視圖。
圖中的附圖標(biāo)記為:1-研磨底座;2-套筒;3-T型螺桿;4-壓板;5-墊塊;6-鎖緊螺母;7-鎖緊板;8、9-螺釘;10-頂頭;11-晶棒。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述:
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