[實用新型]一種制備叉指電極的硬掩膜板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022961525.5
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN213340287U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙見國;李渤
• 申請（專利權(quán)）人: 南京信息工程大學(xué)
• 主分類號: H01L21/283
• 分類號: H01L21/283;C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 南京鐘山專利代理有限公司 32252
• 代理人: 金子娟

1.一種制備叉指電極的硬掩膜板，其特征在于，包括第一模板和第二模板，所述第一模板用于蒸鍍叉指電極的電極組，第二模板用于蒸鍍叉指電極的連接組；

所述叉指電極包括至少一個電極組，所述電極組由相互平行的多個電極線單體組成，所述的多個電極線單體包括頭部位于左側(cè)的左電極線單體和頭部位于右側(cè)的右電極線單體，其中，左、右電極線單體交叉分布，且右電極線單體的尾部向左不超過左電極線單體的頭部，左電極線單體的尾部向右不超過右電極線單體的頭部；

所述第一模板上設(shè)有與電極組對應(yīng)的電極鏤空組，所述電極鏤空組由多個第一鏤空部組成，所述第一鏤空部的形狀和數(shù)量與組內(nèi)電極線單體的形狀和數(shù)量對應(yīng)，且所有第一鏤空部均為邊緣線閉合的鏤空結(jié)構(gòu)，各第一鏤空部之間相互獨立，互不連通；

所述連接組包括左、右兩個分支連接部，其中，左分支連接部用于與所有左電極線單體的頭部連接，右分支連接部用于與所有右電極線單體的頭部連接；

所述第二模板上設(shè)有與連接組對應(yīng)的連接部鏤空組，所述連接部鏤空組由左、右兩個第二鏤空部組成，與上述左、右分支連接部的形狀對應(yīng)，兩第二鏤空部亦為邊緣線閉合的鏤空結(jié)構(gòu)，相互獨立、互不連通；

所述第一模板、第二模板先后覆蓋到基板上分別完成蒸鍍時，電極鏤空組和連接部鏤空組落在基板上的投影位置，于空間上有如下關(guān)系：

左側(cè)第二鏤空部的投影與對應(yīng)左電極線單體的所有第一鏤空部的投影銜接，右側(cè)第二鏤空部的投影與對應(yīng)右電極線單體的所有第一鏤空部的投影銜接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種制備叉指電極的硬掩膜板，其特征在于，所述叉指電極為MSM型叉指電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種制備叉指電極的硬掩膜板，其特征在于，所述第一模板上設(shè)有至少1個，至多5個電極鏤空組，每個電極鏤空組包括左、右各5個第一鏤空部。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種制備叉指電極的硬掩膜板，其特征在于，所述第一模板上的電極鏤空組沿縱向分布，且電極鏤空組的組間距離要大于組內(nèi)相鄰第一鏤空部的間距。