[實用新型]一種便于裝卸載網樣品的掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 202022943409.0
• 申請日: 2020-12-11
• 公開（公告）號: CN213278009U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 陳志民;任紅賓;趙自勇;郭紅彥;蔡玉樂;王瑞娟;陳永;汪新凱;邵普
• 申請（專利權）人: 鄭州大學
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2204
• 代理公司: 鄭州豫開專利代理事務所(普通合伙) 41131
• 代理人: 張智偉

本實用新型屬于掃描電鏡用樣品臺技術領域，具體是一種便于裝卸載網樣品的掃描電鏡樣品臺，包括主臺、壓板、緊固螺釘，壓板平放在主臺上，且壓板的中心與主臺的中心相對應，主臺與壓板通過緊固螺釘連接在一起。主臺的上表面與壓板的下表面緊密貼合在一起，載網放在主臺的相應位置后略高于主臺上表面，壓板可以壓緊載網樣品。本實用新型結構新穎，設計合理，不僅方便了載網樣品的裝卸，提高載樣網樣品的導電性，還實現了載網樣品的無損和無污染觀測，提高了測試效率和測試結果的可靠性，是掃描電鏡用樣品臺方面的創新。

技術領域

本實用新型屬于掃描電鏡用樣品臺技術領域，具體涉及一種便于裝卸載網樣品的掃描電鏡樣品臺。

背景技術

掃描電子顯微鏡（掃描電鏡）是一種可對樣品表面微觀形貌和微區成分進行分析的電子光學儀器。掃描電鏡的工作原理是利用高能電子束去轟擊樣品表面，由于高能電子束和樣品的相互作用，會產生各種電子信號，如二次電子、背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、特征能量損失電子、陰極熒光以及特征X射線等，然后利用各種探頭對相應的信號進行采集和處理，從而實現對樣品的表征。由于掃描電鏡具有制樣簡單、放大倍數連續可調范圍寬、圖像分辨率高、景深大、成像立體感強等特點，現已被廣泛應用于材料學、化學、生物、微電子、生命科學、物理學、司法、地球科學以及工業生產等領域的微觀研究。

樣品臺是掃描電鏡的一個重要配件，用來承載不同形狀的樣品，可以使樣品穩定地固定在樣品臺上，并通過其它各個系統的相互配合成像以表征樣品。

在科研和生產生活過程中使用掃描電鏡時，技術人員普遍遇到了下述問題：

1）掃描電鏡觀察后的載網不能繼續使用此樣品進行其他測試，如透射電子顯微鏡測試。如果將透射電鏡所用的載網在掃描電鏡下觀察，一般采用的方法是：在樣品臺表面粘貼導電膠帶或導電膠水，這樣在掃描電鏡測試后取掉載網時會造成載網的損壞，同時，取下的載網上還會部分殘留導電膠，從而污染樣品，因此不能再進行透射電鏡的測試；

2）導電膠電導率偏低，且可能污染樣品。目前大多數導電膠的體積電阻率仍維持在10^-4～10^-3Ω?cm，不能及時高效地將樣品表面的吸收電子導走，從而影響高質量掃描電子顯微鏡圖片的拍攝；

3）樣品固定不牢。如果不使用導電膠固定載網，樣品臺上的載網就很容易發生移動，這一方面會造成掃描電鏡觀測時圖像發生飄移，從而無法獲得滿意的測試結果，另一方面還存在樣品掉入樣品倉的危險。

如何解決上述問題，已迫在眉睫。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種便于裝卸載網樣品的掃描電鏡樣品臺，解決如下技術問題：①載網樣品在掃描電鏡下觀察后無法進行其他測試（如透射電鏡測試）；②導電膠電導率偏低對拍攝高質量掃描圖片的影響；③無導電膠固定的載網樣在觀測過程中的飄移和脫落現象。

本實用新型采用如下技術方案：一種便于裝卸載網樣品的掃描電鏡樣品臺，包括主臺、壓板、緊固螺釘。

所述的主臺呈圓柱形，包括臺體、載樣槽、取樣槽和螺紋孔，所述的載樣槽沿臺體的圓周均勻分布，所述的取樣槽位于臺體的邊緣，取樣槽截面是矩形，取樣槽的中心線指向臺體的圓心，所述的螺紋孔位于主臺的中心，所述的載樣槽的直徑為3.6mm，深度為0.01mm，所述的取樣槽的深度比載樣槽的深度大2.5mm，所述的取樣槽處于載樣槽內的長度為0.9mm。

所述的壓板包括壓片和安裝孔，壓片呈十字形，安裝孔位于壓板的中心，所述的壓板的厚度為0.3mm-0.5mm。

所述的緊固螺釘包括螺帽、一字凹槽、光桿和螺紋桿，螺帽和螺紋桿位于兩端，光桿位于中間，螺帽上設有一字凹槽，所述光桿的長度比壓板的厚度小0.1mm。