[實(shí)用新型]一種用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022927880.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN213880239U
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李光;劉迪;周瑜;劉云飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第三研究所
• 主分類號(hào): H04R3/04
• 分類號(hào): H04R3/04
• 代理公司: 北京天盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421
• 代理人: 張彩珍

1.一種用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，包括質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件、聲壓敏感元件(2)，其特征在于：包括2組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件，第一組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件(11)和第二組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件(12)，每組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件對(duì)稱分布，2組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件的對(duì)稱中心相同，2組所述質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件相互垂直分布，所述聲壓敏感元件(2)位于所述對(duì)稱中心位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，其特征在于：所述2組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件(11)、(12)聲壓敏感元件(2)設(shè)置于第一微陣列骨架(31)上，所述第一微陣列骨架(31)為正四面棱柱體，所述2組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件(11)、(12)對(duì)稱分布于所述正四面棱柱體的側(cè)面；所述聲壓敏感元件(2)分布于所述正四面棱柱體的上端面，所述聲壓敏感元件(2)的中心與所述正四面棱柱體的對(duì)稱中心相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，其特征在于：所述2組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件、聲壓敏感元件設(shè)置于第二微陣列骨架(32)上，所述第二微陣列骨架(32)為平面骨架，2組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件呈十字形分布，所述聲壓敏感元件位于所述十字形的中心位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，其特征在于：設(shè)有1個(gè)聲壓敏感元件；每組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件設(shè)有2n個(gè)質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件，設(shè)有1個(gè)聲壓敏感元件；每組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件設(shè)有2n個(gè)質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件，n≥1，n的大小根據(jù)質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列的信噪比與尺寸確定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，其特征在于：每組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件相同側(cè)面的各質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件之間等間距平行分布。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，其特征在于：所述第一組質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件(11)、第二組質(zhì)點(diǎn)振速元件(12)為基于MEMS熱式流量測(cè)量機(jī)理的質(zhì)點(diǎn)振速敏感元件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，其特征在于：所述聲壓敏感元件(2)為駐極體或硅麥聲壓敏感元件。

8.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的用于語(yǔ)音拾取的質(zhì)點(diǎn)振速傳感器微陣列，其特征在于：所述微陣列骨架外側(cè)設(shè)置有防護(hù)罩(4)。