[實用新型]單面研磨機滴液裝置

有效

• 申請號: 202022923877.1
• 申請日: 2020-12-09
• 公開（公告）號: CN213970608U
• 公開（公告）日: 2021-08-17
• 發明（設計）人: 張興資;肖迪;鄭東
• 申請（專利權）人: 青島鑫嘉星電子科技股份有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B57/02
• 代理公司: 青島發思特專利商標代理有限公司 37212
• 代理人: 江鵬飛

本實用新型公開了一種單面研磨機滴液裝置，屬于單面研磨機技術領域。其技術方案為包括箱體、溫度控制機構和噴水機構，箱體內盛放研磨液，箱體上部設置蓋板，箱體底部和側壁為空腔結構；還包括氣壓管，氣壓管的一端置于研磨液中，另一端與高壓氣連通；噴水機構包括噴水管，噴水管的出水口螺紋連接封閉式半圓弧形擋板，擋板的底端一側設置開口連接萬向軟管；溫度控制機構包括支撐臺、加熱管、溫度控制器、溫度傳感器，支撐臺固設于箱體底部空腔中部，支撐臺上部固定連接加熱管，加熱管緊貼在底部空腔和側壁空腔之間的隔離板上，支撐臺一側設置溫度控制器。本實用新型能夠充分利用鉆石液，減少鉆石液的浪費，節省成本增加研磨效率。

技術領域

本實用新型涉及單面研磨機技術領域，具體涉及一種單面研磨機滴液裝置。

背景技術

在藍寶石晶片上游加工領域中，單面研磨機的流液方式的噴射法為通過負壓將鉆石液形成霧氣，以小顆粒狀將鉆石液噴出，這種方式會讓鉆石液產生霧氣飄散在空氣中，會產生一部分浪費，也可能噴灑到設備的其他地方，造成對設備的腐蝕，同時噴出研磨液的溫度的不同也會影響研磨效率。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：克服現有技術的不足，提供一種單面研磨機滴液裝置，以解決鉆石液飄散造成的浪費、對設備的腐蝕以及控制噴出研磨液的溫度不恒定影響研磨效率的問題。

本實用新型的技術方案為：單面研磨機滴液裝置，包括箱體、溫度控制機構和噴水機構，箱體內盛放研磨液，箱體上部設置蓋板，蓋板上設置加料口，箱體底部和側壁為空腔結構，側壁的空腔中填充導熱液；還包括氣壓管，氣壓管的一端置于研磨液中，另一端與高壓氣連通；所述噴水機構包括噴水管，噴水管一端置于箱體內部，另一端穿過蓋板，噴水管的出水口螺紋連接封閉式半圓弧形擋板，擋板的底端一側設置開口，開口處螺紋連接萬向軟管；所述溫度控制機構包括支撐臺、加熱管、溫度控制器、溫度傳感器，支撐臺固設于箱體底部空腔中部，支撐臺上部固定連接加熱管，加熱管緊貼在底部和側壁空腔之間的隔離板上，支撐臺一側設置溫度控制器，所述溫度傳感器設置在底部和側壁空腔之間的隔離板上，溫度控制器分別與溫度傳感器和加熱管電性連接。

優選地，所述萬向軟管上設置閥門。

優選地，還包括攪拌裝置，攪拌裝置包括電機、葉輪和攪拌軸，電機固設于箱體的頂端，攪拌軸的一端連接電機的轉動軸，另一端連接葉輪，葉輪置于箱體內。

優選地，側壁空腔中導熱液的高度和箱體中溶液的高度相同。

優選地，側壁頂端設置進液口，進液口上設置進液閥；側壁底端設置出液口，出液口上設置出液閥。

本實用新型與現有技術相比，具有以下有益效果：

1. 本實用新型能夠充分利用鉆石液，減少鉆石液的浪費，節省成本增加研磨效率；2.溫度控制機構的設置能夠保證噴射出的研磨液控制在一定的溫度，更好地保障了研磨液的最大利用率，提高研磨效率；3.側壁進液口和出液口的設置方便控制空腔中加熱液的加入和長期不使用時將加熱液放出，避免對空腔壁的腐蝕，延長裝置的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中，1-箱體；2-蓋板；3-空腔3；4-噴水管；5-擋板；6-萬向軟管；7-閥門；9-支撐臺；10-加熱管；11-溫度控制器；12-電機；13-葉輪；14-攪拌軸；15-進液口；16-進液閥；17-出液口；18-出液閥。

具體實施方式

實施例1