[實用新型]一種調整水平相對位置的定位裝置和定位機構

有效

• 申請號: 202022914738.2
• 申請日: 2020-12-07
• 公開（公告）號: CN214095906U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 沈安宇;李釗;張耀文;張亮;湛希棟
• 申請（專利權）人: 山東天岳先進科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京君慧知識產權代理事務所(普通合伙) 11716
• 代理人: 陳曦

本申請公開了一種調整水平相對位置的定位裝置，其包括調水平組件、光源組件和支撐件，所述調水平組件和所述光源組件分別與所述支撐件連接；所述調水平組件調整所述支撐件水平安裝在定位殼體的開口上方，所述光源組件中的光源形成的光束自所述開口進入所述定位殼體內并在目標位置形成光圈，以定位待定位件的位置。還公開了一種調整空間相對位置定位機構，包括定位裝置，還包括在所述支撐件上并與所述光源組件同側的測距部件，所述測距部件檢測所述定位殼體內的所述待定位件的深度距離，以將所述待定位件定位在所述的定位殼體內的目標深度位置。本申請的定位裝置和定位機構操作簡便，提高了工作效率，工作精度高，進而提升了制備的晶體質量。

技術領域

本申請涉及一種調整水平相對位置的定位裝置和定位機構，屬于定位裝置領域。

背景技術

目前在半導體長晶過程中，需要按照工藝要求將原料組件放置在長晶爐內的規定位置。現有技術中采用的方式為人工憑經驗目測調整原料組件，將原料組件放置在大致要求位置，再通過手持測距尺調整原料組件的水平相對位置完成操作。

現有技術需要反復多次調整、測量，操作繁瑣，工作效率低，人工成本大；同時工作精度低，測量誤差大，無法滿足嚴格的工藝要求，從而影響所制備的晶體的質量。

實用新型內容

為了解決上述問題，本申請提出了一種調整水平相對位置的定位裝置和定位機構，通過設置調水平組件提供了水平基準，以使定位裝置水平放置在定位殼體開口上方；通過設置支撐件連接調水平組件和光源組件以使光源形成的光束基于同一水平面，準確地在目標位置形成光圈；通過光源組件形成的光圈定位待定位件的位置，以使待定位件準確放置在目標位置；使用該定位裝置一次操作即可將待定位件準確放置在目標位置，操作簡便，極大地提高了工作效率，降低了人工成本，并且工作精度高，測量誤差小，能夠滿足嚴格的工藝要求，進而提升了所制備的晶體質量。

根據本申請的一個方面，提供了一種調整水平相對位置的定位裝置，該定位裝置其包括調水平組件、光源組件和支撐件，所述調水平組件和所述光源組件分別與所述支撐件連接；所述調水平組件調整所述支撐件水平安裝在定位殼體的開口上方，所述光源組件中的光源形成的光束自所述開口進入所述定位殼體內并在目標位置形成光圈，以定位待定位件的位置。

可選地，所述支撐件為平面板狀結構，所述支撐件搭接在所述定位殼體的開口上方，所述光源組件連接在所述支撐件的底面，所述調水平組件連接在所述支撐件的頂面。所述支撐件設置為平面板狀結構，便于與定位殼體搭接，并且便于握持使用；所述調水平組件連接在所述支撐件的頂面便于觀察調整支撐件以使其水平搭接在所述定位殼體的開口上方。

可選地，所述光源組件形成的光圈與所述待定位件殼體的形狀匹配。

可選地，所述光圈與所述待定位件殼體的尺寸一致。所述光圈與所述待定位件殼體的形狀匹配，尺寸一致以便于將待定位件準確放置在目標位置。

可選地，還包括設置在所述支撐件的標尺，以調節所述光源組件相對于所述定位殼體的水平方向的相對位置。所述標尺的設置以使所述光源組件可根據不同的工藝要求調整水平方向的相對位置。

可選地，所述光源組件包括帶有燈座的筒體和透鏡，所述燈座連接在筒體底部內側，所述筒體的底部連接在所述支撐件的底面，所述透鏡設置在所述筒體的頂部。

可選地，所述光源組件包括至少兩個可更換的透鏡，所述光源組件包括的透鏡的形狀不同以與不同形狀的待定位件匹配。所述透鏡可根據待定位件的形狀更換，以滿足不同的工藝需求。

可選地，所述光源組件還包括調焦件，所述調焦件連接所述燈座，通過調焦件調節光源組件的焦距來改變光圈的尺寸，以使得所述光圈與所述待定位件殼體的尺寸一致。