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[實用新型]一種50片鏤空可視化硅片花籃有效

專利信息
申請號: 202022907643.8 申請日: 2020-12-06
公開(公告)號: CN213340315U 公開(公告)日: 2021-06-01
發明(設計)人: 孟嶺 申請(專利權)人: 無錫市世通模塑有限公司
主分類號: H01L21/673 分類號: H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 谷金穎
地址: 214000 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 50 鏤空 可視化 硅片 花籃
【權利要求書】:

1.一種50片鏤空可視化硅片花籃,包括硅片花籃主體(5),其特征在于:所述硅片花籃主體(5)由端板(1)與硅片花籃芯桿(2)組成,所述端板(1)的內壁開設有若干個與硅片花籃芯桿(2)端部相適配的孔洞,該硅片花籃芯桿(2)端部插接于端板(1)的內壁孔洞內,所述硅片花籃芯桿(2)上鋪設有用于放置硅片(3)的槽板,且該槽板的根部具有可視空格(4)。

2.根據權利要求1所述的一種50片鏤空可視化硅片花籃,其特征在于:所述硅片花籃芯桿(2)共安裝有兩個。

3.根據權利要求1所述的一種50片鏤空可視化硅片花籃,其特征在于:所述槽板上共可放置50片硅片(3),且每個槽板的規格大小一致。

4.根據權利要求1所述的一種50片鏤空可視化硅片花籃,其特征在于:所述端板(1)共安裝有兩個,且兩個端板(1)分別設置于硅片花籃芯桿(2)的兩端。

5.根據權利要求1所述的一種50片鏤空可視化硅片花籃,其特征在于:所述硅片花籃主體(5)的底部兩側設計為鏤空。

6.根據權利要求1所述的一種50片鏤空可視化硅片花籃,其特征在于:所述硅片花籃芯桿(2)的橫截面為圓形,且其為圓柱體結構。

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