[實用新型]一種半片花籃結構有效
| 申請號: | 202022907608.6 | 申請日: | 2020-12-06 |
| 公開(公告)號: | CN213340312U | 公開(公告)日: | 2021-06-01 |
| 發明(設計)人: | 孟嶺 | 申請(專利權)人: | 無錫市世通模塑有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 谷金穎 |
| 地址: | 214000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 花籃 結構 | ||
本實用新型公開了一種半片花籃結構,包括第一花籃端板與第二花籃端板,所述第一花籃端板與第二花籃端板的內壁上均開設有槽板安裝孔,且槽板的兩端分別安裝于第一花籃端板與第二花籃端板的槽板安裝孔內,所述槽板上鋪設有齒桿,所述第一花籃端板與第二花籃端板的下側通過底桿相連接,所述齒桿之間可裝載硅片,且該齒桿之間的間距可調整;本實用新型所述的半片花籃結構,可增加齒桿,從而增加硅片的可承載數量,減少生產過程中的硅片花籃替換時間,提高生產效率。
技術領域
本實用新型涉及花籃領域,具體為一種半片花籃結構。
背景技術
花籃是一種廣泛應用于太陽能電池、IC芯片、LED芯片等半導體制造領域的生產制具,花籃主要用于晶片的存放、蝕刻、搬運等,花籃主要包含方形花籃和圓形花籃;
而目前沒有這種類型的花籃,客戶的可選性較少,同時傳統的花籃最多承載100片硅片,可承載數量有限,為此,提出一種半片花籃結構。
實用新型內容
針對現有技術的不足,本實用新型提供了一種半片花籃結構,本實用新型提供如下技術方案:包括第一花籃端板與第二花籃端板,所述第一花籃端板與第二花籃端板的內壁上均開設有槽板安裝孔,且槽板的兩端分別安裝于第一花籃端板與第二花籃端板的槽板安裝孔內,所述槽板上鋪設有齒桿,所述第一花籃端板與第二花籃端板的下側通過底桿相連接,所述齒桿之間可裝載硅片,且該齒桿之間的間距可調整。
優選的,所述底桿共設置有兩個。
優選的,所述底桿的橫截面為圓形。
優選的,所述槽板安裝孔共設置有八個,且其中四個開設于第一花籃端板的內壁,另外四個開設于第二花籃端板的內壁。
優選的,所述第一花籃端板與第二花籃端板的規格大小一致。
優選的,所述槽板安裝孔的橫截面為圓形,且每個槽板安裝孔的規格大小一致。
與現有技術對比,本實用新型具備以下有益效果:該一種半片花籃結構,可增加齒桿,從而增加硅片的可承載數量,減少生產過程中的硅片花籃替換時間,提高生產效率。
附圖說明
圖1為本實用新型半片花籃結構的整體結構示意圖;
圖2為本實用新型第一花籃端板的結構示意圖;
圖3為本實用新型第二花籃端板的結構示意圖;
圖4為本實用新型半片花籃結構的俯視圖;
圖中:1、第一花籃端板;2、第二花籃端板;3、槽板;4、底桿;5、齒桿;6、硅片;7、槽板安裝孔。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。
請參閱圖1-4,一種半片花籃結構,包括第一花籃端板1與第二花籃端板2,所述第一花籃端板1與第二花籃端板2的內壁上均開設有槽板安裝孔7,且槽板3的兩端分別安裝于第一花籃端板1與第二花籃端板2的槽板安裝孔7內,所述槽板3上鋪設有齒桿5,所述第一花籃端板1與第二花籃端板2的下側通過底桿4相連接,所述齒桿5之間可裝載硅片6,且該齒桿5之間的間距可調整。
底桿4共設置有兩個。
底桿4的橫截面為圓形。
槽板安裝孔7共設置有八個,且其中四個開設于第一花籃端板1的內壁,另外四個開設于第二花籃端板2的內壁。
第一花籃端板1與第二花籃端板2的規格大小一致。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





