[實用新型]一種熱爐降溫結構

有效

• 申請號: 202022905216.6
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN214250553U
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 劉群;郭永勝;龐愛鎖;林佳繼;張武;林依婷
• 申請（專利權）人: 深圳市拉普拉斯能源技術有限公司
• 主分類號: F27B17/00
• 分類號: F27B17/00;F27D9/00
• 代理公司: 杭州天昊專利代理事務所(特殊普通合伙) 33283
• 代理人: 董世博

1.一種熱爐降溫結構,其特征在于：包括石英管和防護隔層，防護隔層位于石英管和爐管之間，防護隔層與石英管外壁形成防護夾層，防護夾層連通有導入管和導出管，導入管、防護夾層以及導出管形成冷卻通道，冷卻介質在冷卻通道的流通降低硅片的溫度。

2.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述防護夾層的長度與石英管內腔的長度相配。

3.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述石英管內腔與外部空間連通的一端設為開口端，開口端固設有法蘭，法蘭與爐門連接，爐門將石英管內腔封閉，石英管內腔的另一端連通有抽氣管，抽氣管貫穿爐管延伸至外部空間，通過抽氣管控制石英管內腔氣壓。

4.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述冷卻介質采用壓縮空氣、冷卻水或常溫狀態下的空氣。

5.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述防護隔層上固設有導入孔和導出孔，防護隔層通過導入孔和導出孔分別與導入管和導出管連接，通過導入管和導出管控制冷卻介質的導入和導出。

6.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述防護隔層的材質采用耐高溫的絕緣材料。

7.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述導入管和導出管分別位于防護隔層的兩端。

8.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述防護隔層的橫截面為圓環形結構。

9.根據權利要求1所述的一種熱爐降溫結構，其特征在于：所述爐管包括保溫層、爐殼，爐管內固設有用于安裝石英管的爐膛，保溫層和爐殼位于爐膛外側，保溫層位于爐殼和爐膛之間，電爐絲控制爐膛的熱場。