[實用新型]一種環保的等離子光阻去除機

有效

• 申請號: 202022902480.4
• 申請日: 2020-12-04
• 公開（公告）號: CN214042010U
• 公開（公告）日: 2021-08-24
• 發明（設計）人: 何淑英
• 申請（專利權）人: 何淑英
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 蔡稷元

本實用新型為一種環保的等離子光阻去除機,包括清洗箱，所述清洗箱上一側設置有第一空腔，所述清洗箱另一側上方設置有第二空腔，所述第一空腔內設置有等離子噴槍，所述第一空腔上方固定有排氣管，所述排氣管內設置有第一過濾網，所述第一空腔下方設置有漏液孔，所述漏液孔上固定有第二過濾網，所述第一空腔下方固定有過濾箱，所述過濾箱通過所述漏液孔與所述第一空腔連接，該環保的等離子光阻去除機，裝置第一空腔內的等離子噴槍設置為多組，方便不選用清洗的物品，清洗干凈，同時裝置具有壓力提示裝置，裝置內的氣體經過第一過濾網處理，同時裝置內的液體經過第二過濾網處理，方便對廢液進行回收。

技術領域

本實用新型涉及光阻去除機技術領域，具體為一種環保的等離子光阻去除機。

背景技術

眾所周知，現有的等離子光阻去除機是一種用于裝置清洗的輔助裝置，其在光阻去除機領域中得到了廣泛的應用。

例如公開號為“CN207281468U”專利名稱為：“一種環保的等離子光阻去除機”的專利，專利公開了“本實用新型公開了一種環保的等離子光阻去除機，包括光阻機本體，所述光阻機本體內部通過螺栓固定連接有真空罐，所述真空罐的內部通過絕緣架設置有陰極置物板，所述進氣管靠近真空罐的一側設置有電磁閥，所述真空罐遠離陽電極的一側設置有排氣管，所述排氣管遠離真空罐的一側設置有過濾器，所述過濾器位于過濾盒的內部，所述高壓氣罐位于氣罐盒的內部，本實用新型設置了可凈化真空罐內含有雜質的氣體裝置，避免了傳統的光阻去除機在將真空罐氣體直接排出會對環境及人體產生危害的問題，設置了可放置小型高壓氣罐的裝置，使光阻機便于移動和攜帶，降低了移動重量，更適于需要頻繁移動工作位置的條件下使用”。

現有的一種環保的等離子光阻去除機在使用中發現，其在對裝置進行清洗時，清洗不完全，裝置沒有液體回收裝置，對于廢液處理不完全，導致其使用局限性較高。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種環保的，使用方便的等離子光阻去除機。

(二)技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種環保的等離子光阻去除機,包括清洗箱，所述清洗箱上一側設置有第一空腔，所述清洗箱另一側上方設置有第二空腔，所述第一空腔內設置有等離子噴槍，所述第二空腔內一側設置有儲液箱，所述第二空腔內另一側設置有高壓泵，所述儲液箱一端與所述等離子噴槍通過連接管連接，所述高壓泵與儲液箱另一端連接，所述清洗箱另一側下方設置有控制臺，所述控制臺上一側固定有顯示屏，所述控制臺另一側上方固定有壓力表，所述儲液箱內一側固定有壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述壓力表相匹配，所述第一空腔上方固定有排氣管，所述排氣管內設置有第一過濾網，所述第一空腔下方設置有漏液孔，所述漏液孔上固定有第二過濾網，所述第一空腔下方固定有過濾箱，所述過濾箱通過所述漏液孔與所述第一空腔連接。

為了方便對裝置清洗完全，本實用新型改進有，所述等離子噴槍設置有為多組，所述連接管上固定有第一電磁閥，所述第一電磁閥與所述控制臺連接。

為了方便控制排氣，本實用新型改進有，所述排氣管上方固定有第二電磁閥，所述第二電磁閥與所述控制臺連接。

為了方便對氣體進行過濾，本實用新型改進有，所述第一過濾網設置為多組，所述第一過濾網設置在所述第二電磁閥下方。

為了方便將廢液處理，本實用新型改進有，所述漏液孔設置為多組均勻的布置在所述第一空腔下方。

為了方便對使用者進行壓力提示，本實用新型改進有，所述控制臺另一側下方固定有警示器，所述警示器與所述壓力表連接。

為了保證第一空腔的密封性，本實用新型改進有，所述清洗箱上固定有安全門，所述安全門通過合頁固定在所述清洗箱上，所述安全門與所述第一空腔相匹配。