[實用新型]一種新型加熱器監測裝置

有效

• 申請號: 202022896444.1
• 申請日: 2020-12-05
• 公開（公告）號: CN214095588U
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: 劉洋;姜洪斌;楊龍;李強
• 申請（專利權）人: 青島華旗科技有限公司
• 主分類號: F27D19/00
• 分類號: F27D19/00;F27D21/00;F27D21/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種新型加熱器監測裝置，包括：腔體、工藝管、加熱器、保溫組件、電極連接組件一、電極連接組件二、腔體上蓋、電極連接法蘭一、電極連接法蘭二，所述加熱器內部安裝有工藝管，所述加熱器外部裝有保溫組件，所述加熱器頂部連接有電極連接組件一，所述電極連接組件一頂部連接有電極連接組件二,與現有技術相比，本實用新型具有如下的有益效果：通過增加監測儀表，能實時監測到加熱器的異常狀況，出現異常能及時提醒操作人員，一旦加熱器出現短路現象能夠立刻自動停止加熱，大大提高了設備的安裝性能，降低了設備的人工維護成本，使產品的性能指標得到了大大的提升。

技術領域

本實用新型涉及一種半導體材料的高溫氧化、退火、活化等工藝熱處理設備，尤其是一種具有新型加熱器監測裝置的高溫氧化退火爐。

背景技術

高溫氧化退火爐用于半導體器件、材料等不同工藝尺寸的高溫氧化、退火、活化等工藝。

目前傳統高溫氧化退火爐設備，其加熱系統常采用石墨加熱器，加熱器電源采用三相供電。加熱器加熱時，一旦出現因短路或者絕緣不好造成三相電不平衡時，無法第一時間監測到，對產品氧化或退火工藝帶來了諸多不便，大大增加了工藝研發的難度以及產品性能的提升。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種新型加熱器監測裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種新型加熱器監測裝置，包括：腔體、工藝管、加熱器、保溫組件、電極連接組件一、電極連接組件二、腔體上蓋、電極連接法蘭一、電極連接法蘭二、功率控制器、監測儀表、計算機、控溫系統，所述加熱器安裝在腔體的中部，所述加熱器內部安裝有工藝管，所述加熱器外部裝有保溫組件，所述加熱器頂部連接有電極連接組件一，所述電極連接組件一頂部連接有電極連接組件二，所述腔體頂部安裝有腔體上蓋，所述腔體上蓋上面安裝有三個電極連接法蘭一，所述電極連接組件二穿過電極連接法蘭一，通過電極連接法蘭二將電極連接組件二固定住，加熱器通過電極連接組件一以及電極連接組件二連接功率控制器，電極連接組件二和功率控制器之間連接三相加熱電源線U、V、W，同時三相加熱電源線U、V、W通過電線連接到監測儀表。

作為一優選的實施方式，所述加熱器的中心與腔體的中心在同一條中軸線上。

作為一優選的實施方式，所述腔體的外側面設置有計算機以及警報器，所述計算機通過電線連接警報器，所述計算機還通過控溫系統連接加熱器。

采用了上述技術方案后，本實用新型的有益效果是：通過增加監測儀表，能實時監測到加熱器的異常狀況，出現異常能及時提醒操作人員，一旦加熱器出現短路現象能夠立刻自動停止加熱，大大提高了設備的安裝性能，降低了設備的人工維護成本，使產品的性能指標得到了大大的提升。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1所示為本實用新型的加熱器安裝示意圖；

圖2所示為本實用新型的加熱器接線示意圖；

圖3所示為本實用新型的加熱器監測系統示意圖。

圖中，腔體1、工藝管2、加熱器3、保溫組件4、電極連接組件一5、電極連接組件二6、腔體上蓋7、電極連接法蘭一8、電極連接法蘭二9、功率控制器10、監測儀表11、計算機12、控溫系統13。

具體實施方式