[實用新型]一種反射式光柵分束器有效
| 申請號： | 202022896326.0 | 申請日： | 2020-12-03 |
| 公開（公告）號： | CN213689991U | 公開（公告）日： | 2021-07-13 |
| 發明（設計）人： | 李瑞彬;羅明輝;喬文;楊博文;李玲;成堂東;朱平;陳林森 | 申請（專利權）人： | 蘇州蘇大維格科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18;G02B5/12 |
| 代理公司： | 上海波拓知識產權代理有限公司 31264 | 代理人： | 周志中 |
| 地址： | 215123 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 反射 光柵 分束器 | ||
【權利要求書】：
1.一種反射式光柵分束器，其特征在于，包括具有光柵的襯底，所述光柵與所述襯底一體，所述光柵上覆蓋有金屬層，所述金屬層的形狀隨行于所述光柵。
2.如權利要求1所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述光柵的周期為823～843nm，所述光柵的深度為190～210nm，占空比為0.35～0.45，所述光柵側壁與底部法線的夾角范圍為-5°～﹢5°。
3.如權利要求2所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述光柵的周期為833nm，所述光柵的深度為200nm，占空比為0.40。
4.如權利要求1所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述金屬層的厚度小于所述襯底的厚度。
5.如權利要求4所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述金屬層的厚度為30～70nm。
6.如權利要求1所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述金屬層的材質為鋁。
7.如權利要求1所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述金屬層上覆蓋有抗氧化層，所述抗氧化層的形狀隨行于所述金屬層。
8.如權利要求7所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述抗氧化層的厚度小于所述金屬層的厚度。
9.如權利要求8所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述抗氧化層的厚度為5～15nm。
10.如權利要求7所述的反射式光柵分束器，其特征在于，所述抗氧化層的材質為二氧化硅。
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