[實用新型]一種MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022891179.8 | 申請日: | 2020-12-02 |
| 公開(公告)號: | CN213340333U | 公開(公告)日: | 2021-06-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 商其華;周浩;孫明亮;吳仕梁;張鳳鳴 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇日托光伏科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南京樂羽知行專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32326 | 代理人: | 李玉平 |
| 地址: | 214028 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 mwt gps 真空 吸盤 設(shè)備 | ||
1.一種MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備,其特征在于:包括吸盤,多個腔室,以及抽真空單元;所述腔室的一端和吸盤氣密封連接,另一端和抽真空單元連接;所述吸盤上設(shè)有多個用于吸附GPS材料的吸附通孔;所述吸附通孔與其中一個腔室空氣連通;所述吸盤上設(shè)有多個用于罩在GPS材料上的導(dǎo)電膠的避讓孔;所述避讓孔設(shè)置在朝向GPS材料的吸盤面上;所述避讓孔與GPS材料上的導(dǎo)電膠位置一一對應(yīng);所述避讓孔的孔徑大于GPS材料上的導(dǎo)電膠的直徑;所述避讓孔的深度小于吸盤厚度,且與腔室不連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備,其特征在于:所述避讓孔的孔深為1.4-1.6mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備,其特征在于:所述避讓孔包括圓形小孔和長條孔;所述長條孔是用于兼容整片電池使用吸盤設(shè)備的避讓孔;所述長條孔隔行設(shè)置,兩行圓形小孔之間設(shè)有一行長條孔,除固定口位置外同一行的兩個相鄰的長條孔間隔三個吸附通孔;所述長條孔的孔長等于間隔一個圓形小孔的兩個圓形小孔的間距。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備,其特征在于:所述吸盤上設(shè)有多個固定口,用于使吸盤分別避開料臺上固定GPS材料的多個頂針。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備,其特征在于:所述腔室的數(shù)量為三個,三個腔室相互獨立,腔室與腔室之間通過加強筋分隔開。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備,其特征在于:所述抽真空單元用于對腔室抽真空,且包括獨立控制每個腔室的氣閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MWT半片5*6GPS真空吸盤設(shè)備,其特征在于:還包括上蓋板和中間框;所述上蓋板和吸盤通過中間框氣密封連接,中間框的一面與吸盤的四周氣密封連接,中間框的另一面與上蓋板氣密封連接;所述上蓋板和抽真空單元連接;所述上蓋板上設(shè)有多條加強筋,通過加強筋使上蓋板與吸盤之間形成多個獨立的腔室。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





