[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022883128.0
• 申請(qǐng)日: 2020-12-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213889515U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁祥龍;劉園;武衛(wèi);劉建偉;由佰玲;孫晨光;王彥君;常雪巖;裴坤羽;祝斌;劉姣龍;張宏杰;謝艷;楊春雪;劉秒;呂瑩;徐榮清
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司;中環(huán)領(lǐng)先半導(dǎo)體材料有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B29/02
• 分類(lèi)號(hào): B24B29/02;B24B41/02;B24B57/02
• 代理公司: 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括若干相鄰而設(shè)的下載裝置，所述下載裝置具有：

存有一定溶液并使溶液緩沖流動(dòng)的下載放置組件；

和用于支撐所述硅片并可上下移動(dòng)的下載支撐組件；

其中，置于所述下載放置組件內(nèi)的溶液可完全與所述硅片拋光面接觸；所述下載支撐組件貫穿所述下載放置組件設(shè)置；連接所述下載支撐組件中與所述硅片的接觸點(diǎn)所圍成圖形的外接圓與所述硅片同徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下載放置組件包括：

下載盤(pán)；

和至少在所述下載盤(pán)中心設(shè)置的下載溢流孔；

其中，所述下載盤(pán)為雙層結(jié)構(gòu)，具有用于存儲(chǔ)溶液的內(nèi)層槽和與所述內(nèi)層槽一體連接的外層槽；

所述下載盤(pán)固設(shè)于所述下載支撐組件上且與所述下載支撐組件同軸設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述外層槽與所述內(nèi)層槽輪廓相適配；所述外層槽與所述內(nèi)層槽的連接層的高度低于所述外層槽的外壁高度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述外層槽中設(shè)有若干用于被所述下載支撐組件貫穿設(shè)置的凸耳，所述凸耳與所述外層槽一體連接設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述外層槽的外壁面的上端面設(shè)有若干凹槽，所述凹槽均勻設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述凹槽均設(shè)置在相鄰所述凸耳之間的所述外層槽上。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下載支撐組件包括：

若干沿所述外層槽周緣設(shè)置的下載柱；

用于固定所述下載柱的下載放置架；

其中，所述下載柱穿過(guò)所述凸耳并與所述硅片的側(cè)壁面接觸并使所述硅片的拋光面靠近所述下載盤(pán)中一側(cè)設(shè)置；

所述下載放置架位于所述下載盤(pán)下方，且與所述下載柱的下端面連接設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下載柱的下段部位柱體，其上段部為圓錐體，且所述上段部的高度小于所述下段部的高度；所述上段部的母線(xiàn)夾角不大于45°。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下載放置架包括中心環(huán)形架和向外延伸且與所述環(huán)形架一體設(shè)置的T型架，所述環(huán)形架被置于所述下載盤(pán)中心處的所述下載溢流孔貫穿設(shè)置；所述T型架遠(yuǎn)離所述環(huán)形架的一端連接相鄰所述下載柱。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的一種半導(dǎo)體硅片拋光用下載暫存機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下載支撐組件還包括用于驅(qū)動(dòng)所述下載放置架升降移動(dòng)的下載驅(qū)動(dòng)源，所述下載驅(qū)動(dòng)源置于位于所述下載放置架下方，并與所述下載放置架同軸設(shè)置。