[實用新型]拋光工具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022865222.3
• 申請日: 2020-12-03
• 公開（公告）號: CN214560001U
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發(fā)明（設計）人: 林明亮;金曉兵;林永桃;郭鵬
• 申請（專利權）人: 3M中國有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04;B24B55/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 周晨

1.一種拋光工具(100)，包括：拋光頭(10)，所述拋光頭形成有拋光表面(11)；其特征在于，

所述拋光頭內部設有冷卻液腔室(12)，并且所述拋光頭設置有從所述冷卻液腔室貫穿至所述拋光表面的冷卻液出口(13)，以使得冷卻液從所述冷卻液腔室經由所述冷卻液出口流向所述拋光表面。

2.如權利要求1所述的拋光工具，其中，

所述拋光頭設置有多個冷卻液出口，所述多個冷卻液出口以陣列方式布置在所述拋光表面上。

3.如權利要求1所述的拋光工具，還包括：

蓋罩(20)，所述蓋罩與所述拋光頭可拆卸地配合以遮蓋所述冷卻液腔室，其中，所述蓋罩設置有冷卻液入口(21)，以使得冷卻液從所述冷卻液入口進入所述冷卻液腔室。

4.如權利要求3所述的拋光工具，其中，

所述蓋罩的朝向所述冷卻液腔室的表面設有葉輪(24)。

5.如權利要求3所述的拋光工具，還包括：

主軸(30)，所述主軸連接至所述拋光頭，以帶動所述拋光頭轉動。

6.如權利要求5所述的拋光工具，其中，

所述主軸與所述拋光頭一體成型。

7.如權利要求5所述的拋光工具，其中，

所述主軸可拆卸地組裝至所述拋光頭。

8.如權利要求5所述的拋光工具，其中，

所述蓋罩設有主軸通孔(22)，所述主軸設有凸緣(31)，所述主軸設置成穿過所述主軸通孔，以及所述蓋罩由所述凸緣進行限位。

9.如權利要求5所述的拋光工具，其中，

所述蓋罩的朝向所述冷卻液腔室的表面設有臺階(23)，所述臺階與所述冷卻液腔室的內表面接觸。

10.如權利要求1至9中任一所述的拋光工具，還包括：

拋光膜，所述拋光膜覆蓋所述拋光表面。