[實用新型]一種晶體頭尾切料回收裝置

有效

• 申請號: 202022833066.2
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN214163573U
• 公開（公告）日: 2021-09-10
• 發明（設計）人: 樊海強;高佑君;王鼎
• 申請（專利權）人: 忻州中科晶電信息材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/02;B28D7/00;B28D7/04
• 代理公司: 太原達引擎專利代理事務所(特殊普通合伙) 14120
• 代理人: 朱世婷

本實用新型具體涉及一種晶體頭尾切料回收裝置，屬于半導體材料技術領域，所要解決的問題是提供一種工作效率高的晶體頭尾切料回收裝置，采用的方案為：晶棒待切除的頭尾切料下方設置有接料槽，接料槽的一側連接有翻轉驅動件，翻轉驅動件設置于水平設置的轉桿三一端，轉桿三另一端下部與水平設置的轉桿二一端上部鉸接，轉桿二另一端的下部與水平設置的轉桿一的一端上部鉸接，轉桿一的另一端下部與底座鉸接，鉸接處均設置有轉動驅動件，轉動驅動件用于將接料槽移動至固定于切割機外部的回收箱上方；本實用新型頭尾切料被接收后及時轉移至切割機體外部進行回收，提高了工作效率，也保證了晶棒的質量。

技術領域

本實用新型屬于半導體材料制備技術領域，具體涉及一種晶體頭尾切料回收裝置。

背景技術

無論是生長出來的圓柱形晶棒，還是利用掏棒機加工出來的圓柱形晶棒都需要對晶棒兩端的不規整部分進行切割后才可以進行后續的精確加工，為避免切割掉落的晶體損壞切割機，現有的部分晶棒切割頭尾裝置大都是將晶棒切割至剩余1-5mm左右，然后敲擊打斷這部分，取下不規整的頭尾面后，在對規整的圓柱形晶棒進行后續加工，部分廠家切完幾個晶棒頭尾后，停機再取出切割后的晶體頭尾，進行下一批晶棒的加工。

實用新型內容

本實用新型克服了現有技術存在的不足，提供了一種晶體頭尾切料回收裝置，將圓柱形晶棒兩端不規整的部分進行切割后，頭尾切料被接收后及時轉移至切割機體外部進行回收，既不影響切割機的連續運行，又避免了人工敲擊晶棒取晶棒頭尾帶來的對晶棒的損傷，提高了工作效率，也保證了晶棒的質量。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：一種晶體頭尾切料回收裝置，用于晶棒夾持的上夾持板和下夾持板和用于切割晶棒的切割線相配合設置于切割機上，所述下夾持板下部連接有晶棒送料件，所述晶棒送料件用于輸送晶棒向切割線移動以切除晶棒端部的頭尾切料，所述晶體頭尾切料回收裝置包括：底座、轉桿一、轉桿二、轉桿三、轉動驅動件、翻轉驅動件、接料槽和回收箱，晶棒待切除的頭尾切料下方設置有所述接料槽，所述接料槽的一側連接有所述翻轉驅動件，所述翻轉驅動件用于翻轉所述接料槽，所述翻轉驅動件設置于水平設置的所述轉桿三一端，所述轉桿三另一端下部與水平設置的所述轉桿二一端上部鉸接，所述轉桿二另一端的下部與水平設置的所述轉桿一的一端上部鉸接，所述轉桿一的另一端下部與所述底座鉸接，所述底座相對切割機固定，所述底座與所述轉桿一的鉸接處、所述轉桿一與所述轉桿二的鉸接處、所述轉桿二與所述轉桿三的鉸接處均設置有轉動驅動件，所述轉動驅動件用于驅動所述底座、所述轉桿一、所述轉桿二、所述轉桿三的相對位置改變，用于將所述接料槽移動至固定于切割機外部的回收箱上方。通過相互鉸接的所述底座、所述轉桿一、所述轉桿二、所述轉桿三相對位置的改變，調節所述接料槽處于晶棒下方接料，或者移動至回收箱上方，通過翻轉驅動件將接料槽槽口朝下將頭尾切料歸集在回收箱內，完成頭尾切料的回收，然后，接料槽翻轉至槽口向上，通過所述底座、所述轉桿一、所述轉桿二、所述轉桿三的相對位置變化回至晶棒下方接料，當所述接料槽處于晶棒下方接料時，所述轉桿一、所述轉桿二、所述轉桿三上下折疊，節省空間，當需要將接料槽輸送至切割機外時，所述底座、所述轉桿一、所述轉桿二、所述轉桿三通過驅動鉸接處相對位置的改變，移動接料槽。

所述轉動驅動件包括：旋轉軸、從動傘齒輪、主動傘齒輪和微型電機，所述旋轉軸豎直設置，所述旋轉軸上端與其上部相應位置的轉桿固定，所述轉桿包括：所述轉桿一、所述轉桿二、所述轉桿三，所述旋轉軸的下端與相應位置的轉桿或者底座軸承連接，所述旋轉軸上同軸固定有所述從動傘齒輪，所述從動傘齒輪的一側嚙合連接有所述主動傘齒輪，所述主動傘齒輪與所述微型電機的輸出軸同軸固定，所述微型電機相對所述旋轉軸軸承連接的部件固定。

所述翻轉驅動件包括：翻轉電機、軸承座和翻轉桿，水平設置的所述翻轉桿一端與所述接料槽的外壁固定，所述翻轉桿的另一端與所述翻轉電機的輸出軸同軸固定，所述翻轉電機相對所述轉桿三固定，所述翻轉桿與所述轉桿三通過所述軸承座連接。通過啟動翻轉電機將翻轉桿轉動，從而驅動接料槽翻轉，完成頭尾切料的接收和轉移，不影響切割機的連續運行，又避免了人工敲擊晶棒取晶棒頭尾帶來的對晶棒的損傷，提高了工作效率，也保證了晶棒的質量。