[實用新型]一種可加熱的離子篩網裝置

有效

• 申請號: 202022813065.1
• 申請日: 2020-11-30
• 公開（公告）號: CN213242487U
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 張志強;楊平;王振
• 申請（專利權）人: 上海稷以科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種可加熱的離子篩網裝置，屬于晶圓設備技術領域，解決了離子篩網的熱脹冷縮而開裂的問題，其技術要點是：包括加熱塊、導熱塊和離子篩網，離子篩網中部分布有若干篩網開孔，所述加熱塊通過導熱塊與離子篩網連接，加熱塊內部鑲嵌有加熱體，加熱體連接溫度控制器；可根據工藝狀態的不同來調整、節對離子篩網的加熱狀態，確保離子篩網表面的溫度在一定范圍內波動，可有效的降低離子篩網表面聚合物開裂而對腔體的污染，降低了顆粒對工藝腔體的污染，提高了生產工藝的穩定性。

技術領域

本實用新型涉及晶圓設備技術領域，尤其是涉及等離子體灰化設備的工藝穩定性，具體是涉及一種可加熱的離子篩網裝置。

背景技術

在晶圓制造的工藝中，等離子體灰化設備是整個生產工藝中不可或缺的設備，隨著制造工藝要求的不斷提高，對等離子體灰化工藝過程的穩定性要求越來越高。離子篩網（gas baffle）作為等離子設備的重要部件，對等離子體中帶電離子的過濾，降低帶電離子對晶圓表面的損傷具有重要的作用，同時還可以通過優化離子篩網開孔的分布來改善去膠速率的均勻性。

但對于傳統的離子篩網其表面的溫度是無法溫度控制的，這樣離子篩網表面溫度會隨著工藝運行狀態的不同來發生變化，當工藝運行時等離子體會對離子篩網表面有一定的加熱效應；但工藝運行結束后，離子篩網的溫度就會有所下降，這樣就會造成離子篩網表面的溫度會隨著工藝狀態的不斷變化而出現熱脹冷縮。

在正常情況下，對于新的或剛更換的離子篩網（如圖1所示），在等離子灰化設備穩定運行過程中，會在離子篩網表面形成穩定致密的聚合物（polymer）層（如圖2所示），隨著離子篩網表面聚合物厚度不斷的增加，就會伴隨著離子篩網的熱脹冷縮而開裂（如圖3所示），開裂的聚合物將會形成顆粒（particles）落在腔體內部，對腔體內環境造成一定的污染，進而影響加工產品的良率。

針對現有等離子灰化設備采用的離子篩網，其表面覆蓋的聚合物不可避免會隨著離子篩網的熱脹冷縮而開裂，進而對工藝腔體環境造成一定的污染，影響產品的良率和工藝穩定性的問題。如何控制離子篩網的熱脹冷縮，對于降低工藝腔體顆粒和改善工藝的穩定性是至關重要的。

因此，需要提供一種可加熱的離子篩網裝置，旨在解決上述問題。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型實施例的目的在于提供一種可加熱的離子篩網裝置，以解決上述背景技術中的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種可加熱的離子篩網裝置，包括加熱塊、導熱塊和離子篩網，離子篩網中部分布有若干篩網開孔，所述加熱塊通過導熱塊與離子篩網連接，加熱塊內部鑲嵌有加熱體，加熱體連接溫度控制器。

作為本實用新型進一步的方案，所述加熱塊呈環狀結構。

作為本實用新型進一步的方案，所述加熱體為電加熱棒或電加熱管構成。

作為本實用新型進一步的方案，所述溫度控制器連接電源，電源的工作電壓是交流220V。

作為本實用新型進一步的方案，所述溫度控制器與加熱塊之間還連接有用于傳遞溫度反饋值的溫度反饋電路。

作為本實用新型進一步的方案，所述導熱塊位于加熱塊和離子篩網之間，加熱塊和離子篩網之間由導熱塊連接，離子篩網與導熱塊為可拆卸連接。

作為本實用新型進一步的方案，所述導熱塊嵌入在離子篩網內，導熱塊和離子篩網均位于加熱塊內，導熱塊和離子篩網與加熱塊為可拆卸連接。

綜上所述，本實用新型實施例與現有技術相比具有以下有益效果：