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[實用新型]一種應用于電子終端產品的電容式MEMS壓力傳感器有效

專利信息
申請號: 202022806319.7 申請日: 2020-11-27
公開(公告)號: CN213364087U 公開(公告)日: 2021-06-04
發明(設計)人: 王志 申請(專利權)人: 路溱微電子技術(蘇州)有限公司
主分類號: G01L1/14 分類號: G01L1/14
代理公司: 蘇州尚為知識產權代理事務所(普通合伙) 32483 代理人: 李鳳嬌
地址: 215151 江蘇省蘇州市高新*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 應用于 電子 終端產品 電容 mems 壓力傳感器
【權利要求書】:

1.一種應用于電子終端產品的電容式MEMS壓力傳感器,其特征在于:由若干電容單元陣列形成,所述電容單元包括由下至上依次設置的基底、在基底上重摻雜形成的下極板、氧化硅層、以及采用CMOS薄膜形成的上極板;所述氧化硅層作為犧牲層,形成上極板與下極板之間的電容間隙;所述CMOS薄膜包括下多晶硅層、以及在下多晶硅層上淀積形成的上多晶硅層,所述下多晶硅層上設置有若干犧牲層釋放孔,所述上多晶硅層使電容間隙形成真空密封;所述下極板及上極板上還通過引線連接有焊盤。

2.根據權利要求1所述的一種應用于電子終端產品的電容式MEMS壓力傳感器,其特征在于:所述上極板端部上端及氧化硅層上端還淀積形成有保護層,所述保護層采用多晶硅、氧化硅、氮化硅或其組合制成。

3.根據權利要求1所述的一種應用于電子終端產品的電容式MEMS壓力傳感器,其特征在于:所述下極板由P型重摻雜區域構成,其摻雜濃度為2*1018/cm3~1019/cm3

4.根據權利要求1所述的一種應用于電子終端產品的電容式MEMS壓力傳感器,其特征在于:所述上多晶硅層與下多晶硅層的厚度相同。

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