[實用新型]光波導元件、光調制器、光調制模塊及光發送裝置

有效

• 申請號: 202022805628.2
• 申請日: 2020-11-26
• 公開（公告）號: CN214311182U
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 本谷將之;菅又徹
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 方應星;趙晶

1.一種光波導元件，具備：

基板；

在所述基板形成的光波導；及

控制在所述光波導中傳播的光波的電極，其特征在于，

所述光波導與所述電極具有相互交叉的交叉部，

在所述交叉部處，所述電極形成包含由金屬材料構成的多個金屬層的多層結構，在所述電極與所述基板之間形成有由樹脂材料構成的樹脂層。

2.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，

在所述電極的所述多層結構中，構成為除了最接近所述基板的所述金屬層即最下層之外的所述金屬層的至少一個層比所述最下層厚。

3.根據權利要求1或2所述的光波導元件，其中，

所述樹脂層形成為沿所述光波導的波導方向的長度比相鄰的所述金屬層的沿所述光波導的波導方向的長度長。

4.根據權利要求3所述的光波導元件，其中，

所述樹脂層構成為未形成所述相鄰的所述金屬層的部分的沿所述光波導的波導方向的長度比在所述光波導中傳播的光的波長長。

5.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，

與所述樹脂層相鄰的所述金屬層形成為沿所述光波導的波導方向的長度等于或長于與該金屬層相鄰的其他的所述金屬層的沿所述光波導的波導方向的長度。

6.根據權利要求5所述的光波導元件，其中，

與所述樹脂層相鄰的所述金屬層構成為未形成所述其他的金屬層的部分的沿所述光波導的波導方向的長度比在所述光波導中傳播的光的波長長。

7.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，

所述樹脂層形成為，在沿所述光波導的波導方向的兩端部處，與該波導方向正交的方向的寬度為所述光波導的寬度以下且隨著從所述交叉部分離而變窄。

8.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，

所述樹脂層形成為其厚度在沿所述光波導的波導方向的兩端部處隨著從所述交叉部分離而變薄。

9.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，

在構成所述多層結構的所述金屬層中的除了形成于最上部的所述金屬層之外的至少一個所述金屬層形成有狹縫。

10.根據權利要求1所述的光波導元件，其中，

所述樹脂層跨至少兩個所述交叉部地形成。

11.一種光調制器，其特征在于，具備：

作為進行光的調制的光調制元件的權利要求1～10中任一項所述的光波導元件；

收容所述光波導元件的殼體；

向所述光波導元件輸入光的光纖；及

將所述光波導元件輸出的光向所述殼體的外部引導的光纖。

12.一種光調制模塊，其特征在于，具備：

作為進行光的調制的光調制元件的權利要求1～10中任一項所述的光波導元件；及

對所述光波導元件進行驅動的驅動電路。

13.一種光發送裝置，其特征在于，具備：

權利要求11所述的光調制器或權利要求12所述的光調制模塊；及

生成用于使所述光波導元件進行調制動作的電氣信號的電子電路。