[實用新型]一種飛秒激光輻照玻璃彩色圖案化的裝置有效
| 申請號： | 202022792180.5 | 申請日： | 2020-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN214417947U | 公開（公告）日： | 2021-10-19 |
| 發明（設計）人： | 譚德志;邱建榮;孫珂 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 激光 輻照 玻璃 彩色 圖案 裝置 | ||
1.一種基于光柵結構的飛秒激光輻照玻璃彩色圖案化的裝置，其特征在于：包括飛秒激光器(1)、半波片(2)、衰減片(3)、擴束鏡(4)、X軸振鏡(5)、Y軸振鏡(6)、物鏡(7)、三軸精密位移臺(8)和玻璃(9)，飛秒激光器(1)發出激光，激光依次通過半波片(2)、衰減片(3)、擴束鏡(4)后入射到X軸振鏡(5)，再依次經X軸振鏡(5)、Y軸振鏡(6)反射后透過物鏡(7)入射到三軸精密位移臺(8)上面的玻璃(9)上，三軸精密位移臺(8)位于物鏡(7)的下方。
2.根據權利要求1所述的一種基于光柵結構的飛秒激光輻照玻璃彩色圖案化的裝置，其特征在于：所述的半波片(2)、衰減片(3)和擴束鏡(4)在第一光軸(10)上，第二光軸(11)垂直于第一光軸(10)，X軸振鏡(5)處于第二光軸(11)和第一光軸(10)的交叉處，第三光軸(12)垂直于第二光軸(11)，Y軸振鏡(6)處于第二光軸(11)和第三光軸(12)的交叉處，物鏡(7)在第三光軸(12)上。
3.根據權利要求2所述的一種基于光柵結構的飛秒激光輻照玻璃彩色圖案化的裝置，其特征在于：所述的第一光軸(10)沿平行于三軸精密位移臺(8)的Y軸方向，第二光軸(11)沿平行于三軸精密位移臺(8)的X軸方向，第三光軸(12)沿平行于三軸精密位移臺(8)的Z軸負向。
4.根據權利要求1所述的一種基于光柵結構的飛秒激光輻照玻璃彩色圖案化的裝置，其特征在于：所述的飛秒激光器(1)的中心波長為1030nm，功率為6w。
5.根據權利要求1所述的一種基于光柵結構的飛秒激光輻照玻璃彩色圖案化的裝置，其特征在于：所述的飛秒激光器(1)的重復頻率為1-200kHz，單脈沖能量為1-6μJ。
6.根據權利要求1所述的一種基于光柵結構的飛秒激光輻照玻璃彩色圖案化的裝置，其特征在于：所述的飛秒激光器(1)的脈寬范圍為226fs-6ps。
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