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[實用新型]一種納米滲透轉印裝置有效

專利信息
申請號: 202022790009.0 申請日: 2020-11-27
公開(公告)號: CN213830862U 公開(公告)日: 2021-07-30
發明(設計)人: 王喜全 申請(專利權)人: 新鄉艾盟科技轉印材料有限公司
主分類號: B41F16/00 分類號: B41F16/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 453000 河*** 國省代碼: 河南;41
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 納米 滲透 裝置
【說明書】:

本實用新型涉及轉印裝置技術領域,且公開了一種納米滲透轉印裝置,包括支撐板,支撐板上表面的四角均固定連接有支板,支板上表面固定連接有固定板,固定板中間部位開設有工作孔,固定板內部設置有連接塊,連接塊下表面固定連接有夾緊板,固定板下表面的四角均固定連接有角板,夾緊板設置在四組角板內部。該納米滲透轉印裝置,通過第二液壓缸、移動塊、第一轉動板、第一轉動管、第二轉動板、移動軸和穩定板的配合作用,可以對放置在放置板上的具有納米結構的模板和涂有液態光刻膠的基板進行更好的固定,通過連接塊、限位板、角板、夾緊板和輔助框的配合作用,可以方便工作人員對PET膜進行更換,并且可以對PET膜進行更好的固定。

技術領域

本實用新型涉及轉印裝置技術領域,具體為一種納米滲透轉印裝置。

背景技術

目前,納米壓印設備有著廣泛的應用領域,如量子磁碟、DNA電泳芯片、生物細胞培養膜、波導起偏器、硅場效應管、納米機電系統、微波集成電路、亞波長器件、納米電子器件、納米集成電路、量子存儲器件、光子晶體陣列和OLED平板顯示陣列等,納米壓印技術正逐漸成為微納加工技術的一種重要方式,現有的納米滲透轉印裝置直接用模板來對基板壓印納米結構,模板使用壽命有限,因此多次壓印后需要經常重新制作,模板的制作工藝復雜,成本高,費時費力,加大了納米壓印的成本。

在中國專利公告號CN206440934U中公開了一種新型納米壓印設備,該新型納米壓印設備將硅材料制作的模板上的納米結構轉印到PET膜上,采用PET膜進行納米結構的壓印,使得模板可以被反復使用,增加了模板的使用壽命,PET膜價格低,并且具備可回收性,大大減低了納米壓印工藝的成本,但是這種方式存在很大缺陷:納米結構的模板通過真空泵或者抽氣泵將密閉空間中的空氣吸出,模板被牢牢地固定在托板之上,當存在漏氣現象時導致納米結構在托板上放置的比較不穩定,實用性較低,不利于推廣使用。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足,本實用新型提供了一種納米滲透轉印裝置,解決了納米結構的模板通過真空泵或者抽氣泵將密閉空間中的空氣吸出,模板被牢牢地固定在托板之上,當存在漏氣現象時導致納米結構在托板上放置的比較不穩定,實用性較低,不利于推廣使用的問題。

(二)技術方案

為實現以上目的,本實用新型通過以下技術方案予以實現:一種納米滲透轉印裝置,包括支撐板,支撐板上表面的四角均固定連接有支板,支板上表面固定連接有固定板,固定板中間部位開設有工作孔,固定板內部設置有連接塊,連接塊下表面固定連接有夾緊板,固定板下表面的四角均固定連接有角板,夾緊板設置在四組角板內部,夾緊板外表面與角板內側面接觸,角板下表面固定連接有輔助框,連接塊中間部位可移動設置有限位板,限位板左側面穿過固定板內腔左側壁并且可移動至固定板左側內部,限位板右側面穿出固定板內腔右側壁并且可移動至固定板的右側固定連接有控制板,支撐板上表面的中間部位固定連接有第一液壓缸,第一液壓缸輸出端固定連接有放置板,放置板內部設置有放置腔,放置板左端內部和右端內部均設置有移動軸,移動軸底端與放置板內腔底側壁接觸,移動軸外表面的頂端和底端分別可轉動連接有第一轉動管和第二轉動管,放置板內腔底側壁的中間部位固定連接有第二液壓缸,第二液壓缸輸出端固定連接有連接板,放置板的前端內部和后端內部均設置有移動塊,移動塊左端和右端均開設有輔助槽,移動塊左端內部和右端內部均可轉動連接有輔助軸,連接板背面與位于放置板后側的移動塊正面的中間部位固定連接,與位于放置板后側的移動塊固定連接的輔助軸外表面固定連接有第一轉動板,與位于放置板前側的移動塊固定連接的輔助軸外表面固定連接有第二轉動板,第一轉動板外端與第一轉動管外表面固定連接,第二轉動板外端與第二轉動管外表面固定連接,放置板上表面的左端和右端均開設有滑動孔,移動軸頂端固定連接有滑動塊,滑動塊滑動設置在滑動孔內部,滑動塊上表面固定連接有穩定板,穩定板下表面與放置板上表面接觸,放置板內腔頂側壁固定連接有加熱板。

優選的,所述移動塊下表面固定連接有滑塊,放置板內腔底側壁的前端中間部位和后端中間部位均開設有滑槽,滑塊可移動滑動在滑槽內部。

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