[實(shí)用新型]刷片機(jī)的刷壓微調(diào)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022778277.0
• 申請(qǐng)日: 2020-11-26
• 公開（公告）號(hào): CN213762978U
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王鑫;鄭東;肖迪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島鑫嘉星電子科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B1/00
• 分類號(hào): B08B1/00;B08B13/00;H01L21/02
• 代理公司: 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 37212
• 代理人: 張灑灑

本實(shí)用新型公開了一種刷片機(jī)的刷壓微調(diào)裝置，屬于晶片加工技術(shù)領(lǐng)域。其技術(shù)方案為：包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括固定套筒，固定套筒一端設(shè)置有微分筒，微分筒上設(shè)置有粗調(diào)旋鈕，微分筒另一端設(shè)置有連接桿，連接桿另一端設(shè)置有微調(diào)旋鈕，固定套筒另一端設(shè)置有測(cè)微螺桿，測(cè)微螺桿豎直穿過(guò)刷片機(jī)的升降滑塊并與升降滑塊固定連接；固定套筒和微分筒上設(shè)置有刻度。本實(shí)用新型能夠更加精準(zhǔn)地控制升降滑塊的升降高度，從而更加精準(zhǔn)地進(jìn)行刷壓調(diào)整，對(duì)于產(chǎn)品穩(wěn)定性以及產(chǎn)線管理都發(fā)揮了重要的作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種刷片機(jī)的刷壓微調(diào)裝置。

背景技術(shù)

在藍(lán)寶石襯底加工過(guò)程中，藍(lán)寶石晶片最終出貨時(shí)候要達(dá)到納米級(jí)顆粒表面，通過(guò)刷片機(jī)的刷壓調(diào)整，達(dá)到出貨的目的，而顆粒度的減少有助于下游客戶的制程良率提升，增加發(fā)光效率。

傳統(tǒng)的晶片毛刷壓力調(diào)節(jié)方式，是在刷片機(jī)的升降滑塊上設(shè)置螺桿，通過(guò)調(diào)節(jié)長(zhǎng)軸的螺桿從而實(shí)現(xiàn)升降滑塊的升降運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)升降滑塊底部的毛刷的升降，但弊端在于螺桿調(diào)節(jié)精度低，無(wú)法精確地控制刷片壓力，導(dǎo)致刷壓調(diào)整過(guò)大現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種刷片機(jī)的刷壓微調(diào)裝置，能夠更加精準(zhǔn)地控制升降滑塊的升降高度，從而更加精準(zhǔn)地進(jìn)行刷壓調(diào)整，對(duì)于產(chǎn)品穩(wěn)定性以及產(chǎn)線管理都發(fā)揮了重要的作用。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：

刷片機(jī)的刷壓微調(diào)裝置，包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括固定套筒，固定套筒一端設(shè)置有微分筒，微分筒上設(shè)置有粗調(diào)旋鈕，微分筒另一端設(shè)置有連接桿，連接桿另一端設(shè)置有微調(diào)旋鈕，固定套筒另一端設(shè)置有測(cè)微螺桿，測(cè)微螺桿豎直穿過(guò)刷片機(jī)的升降滑塊并與升降滑塊固定連接；固定套筒和微分筒上設(shè)置有刻度。

優(yōu)選地，所述刷片機(jī)上位于升降滑塊的相對(duì)兩側(cè)分別設(shè)置有卡位機(jī)構(gòu)，卡位機(jī)構(gòu)包括固定在刷片機(jī)上的安裝塊，安裝塊上水平螺紋連接有螺桿，升降滑塊兩側(cè)的螺桿將升降滑塊夾固住。

優(yōu)選地，所述螺桿與升降滑塊接觸的一端設(shè)置有橡膠墊。

優(yōu)選地，所述螺桿遠(yuǎn)離升降滑塊的一端設(shè)置有L型的手持轉(zhuǎn)動(dòng)部，使螺桿呈Z型。

優(yōu)選地，所述手持轉(zhuǎn)動(dòng)部的外表面上包覆有橡膠墊。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下有益效果：

1. 本實(shí)用新型通過(guò)升降機(jī)構(gòu)，能夠更加精準(zhǔn)地控制升降滑塊的升降高度，從而更加精準(zhǔn)地進(jìn)行刷壓調(diào)整，對(duì)于產(chǎn)品穩(wěn)定性以及產(chǎn)線管理都發(fā)揮了重要的作用。

2. 本實(shí)用新型通過(guò)升降滑塊兩側(cè)的螺桿，能夠在調(diào)整好升降滑塊的高度后將其夾固住，防止刷片機(jī)工作過(guò)程中產(chǎn)生的晃動(dòng)帶動(dòng)升降機(jī)構(gòu)升降，影響精確度。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的卡位機(jī)構(gòu)的俯視圖。

圖3是本實(shí)用新型的側(cè)視圖。

圖中，1-固定套筒、2-微分筒、3-粗調(diào)旋鈕、4-連接桿、5-微調(diào)旋鈕、6-測(cè)微螺桿、7-升降滑塊、8-刻度、9-安裝塊、10-螺桿、11-橡膠墊、12-手持轉(zhuǎn)動(dòng)部。

具體實(shí)施方式

實(shí)施例1

如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種刷片機(jī)的刷壓微調(diào)裝置，包括升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)包括固定套筒1，固定套筒1一端設(shè)置有微分筒2，微分筒2上設(shè)置有粗調(diào)旋鈕3，微分筒2另一端設(shè)置有連接桿4，連接桿4另一端設(shè)置有微調(diào)旋鈕5，固定套筒1另一端設(shè)置有測(cè)微螺桿6，測(cè)微螺桿6豎直穿過(guò)刷片機(jī)的升降滑塊7并與升降滑塊7固定連接；固定套筒1和微分筒2上設(shè)置有刻度8。