[實(shí)用新型]一種梯形梳齒、靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器及MEMS掃描鏡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022767909.3
• 申請(qǐng)日: 2020-11-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN214097963U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭俊興;杜先鵬;金傳廣
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州小優(yōu)智能科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G02B26/08
• 分類(lèi)號(hào): G02B26/08;G02B26/10
• 代理公司: 北京金碩果知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11259
• 代理人: 郝曉霞

1.一種梯形梳齒，其特征在于，所述梯形梳齒的根部寬度大于頭部寬度，且所述梯形梳齒的寬度從梯形梳齒根部到梯形梳齒頭部單調(diào)減小，所述梯形梳齒的形狀為等腰梯形，所述梯形梳齒的根部處的梯形底角角度為85°～89.95°。

2.一種靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器，包括運(yùn)動(dòng)梳齒陣列和固定梳齒陣列，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)梳齒陣列和固定梳齒陣列均由數(shù)個(gè)權(quán)利要求1所述的梯形梳齒組成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)梳齒陣列與固定梳齒陣列位于同一平面內(nèi)，所述運(yùn)動(dòng)梳齒陣列與固定梳齒陣列的梯形梳齒交錯(cuò)排布，且相鄰梯形梳齒之間的間隙為0.5μm～20μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器，其特征在于，所述運(yùn)動(dòng)梳齒陣列與固定梳齒陣列之間具有高度差，所述運(yùn)動(dòng)梳齒陣列與固定梳齒陣列的梯形梳齒交錯(cuò)排布，且相鄰梯形梳齒之間的間隙為0.5μm～20μm。

5.一種MEMS掃描鏡，其特征在于，包括反射鏡、梳齒驅(qū)動(dòng)器、連接所述反射鏡與梳齒驅(qū)動(dòng)器的扭轉(zhuǎn)軸、帶有空腔的硅基底，梳齒驅(qū)動(dòng)器為權(quán)利要求3或4所述的靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器，所述靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)反射鏡在硅基底的空腔內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種MEMS掃描鏡，其特征在于，所述靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器位于扭轉(zhuǎn)軸的兩側(cè)，且分別位于扭轉(zhuǎn)軸兩側(cè)的靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器關(guān)于扭轉(zhuǎn)軸對(duì)稱(chēng)排布。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種MEMS掃描鏡，其特征在于，所述反射鏡上設(shè)有光學(xué)反射膜層。