[實用新型]用于快速測量氣體顆粒物濃度的芯片和裝置

有效

• 申請號: 202022757559.2
• 申請日: 2020-11-25
• 公開（公告）號: CN214251927U
• 公開（公告）日: 2021-09-21
• 發明（設計）人: 李純鋼
• 申請（專利權）人: 深圳市森世泰科技有限公司
• 主分類號: G01N15/06
• 分類號: G01N15/06
• 代理公司: 深圳新創友知識產權代理有限公司 44223
• 代理人: 王震宇

1.一種用于快速測量氣體顆粒物濃度的芯片，其特征在于，包括設置在顆粒物沉積區域的第一電極和第二電極，所述第一電極和所述第二電極具有并排走線的導線部分，其中，所述第一電極的所述導線部分上形成有朝向所述第二電極的凸起，和/或所述第二電極的所述導線部分上形成有朝向所述第一電極的凸起。

2.如權利要求1所述的芯片，其特征在于，所述凸起為尖刺形凸起。

3.如權利要求1所述的芯片，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極的所述導線部分的間距為20～100μm，所述凸起的伸出高度為1～10μm。

4.如權利要求1所述的芯片，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極各自具有間隔分布的多個所述凸起，所述第一電極的所述凸起與所述第二電極的所述凸起中的至少一部分凸起成對地相向延伸。

5.如權利要求1至3任一項所述的芯片，其特征在于，所述第一電極和所述第二電極的所述導線部分相互平行，且具有曲折延伸段。

6.如權利要求1至3任一項所述的芯片，其特征在于，所述第一電極和第二電極的材料為貴金屬，所述貴金屬為銠、釕、鈀、鋨、銥、鉑、金、銀中的任一種。

7.如權利要求1至3任一項所述的芯片，其特征在于，所述第一電極和第二電極的材料為金屬與陶瓷、或金屬與玻璃相的復合材料。

8.如權利要求1至3任一項所述的芯片，其特征在于，還包括陶瓷板，所述第一電極和第二電極為在所述陶瓷板上蝕刻形成的電極。

9.一種用于快速測量氣體顆粒物濃度的裝置，其特征在于，包括如權利要求1至3任一項所述的芯片以及吸附電壓發生器，所述吸附電壓發生器與所述第一電極和所述第二電極相連，用于在所述第一電極和所述第二電極之間施加電壓以使所述凸起累集靜電荷以吸附生長顆粒物，顆粒物在所述第一電極和所述第二電極之間形成導電通道，從而改變所述第一電極和所述第二電極之間的電阻。

10.如權利要求9所述的裝置，其特征在于，還包括用于向所述第一電極和/或所述第二電極提供電阻測量電信號的電流源。