[實(shí)用新型]一種砂漿回流濾網(wǎng)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022753033.7
• 申請(qǐng)日: 2020-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN213853365U
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓剛;史高飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州寶晶能源科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D29/56
• 分類號(hào): B01D29/56;B01D29/03
• 代理公司: 南京聚匠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32339
• 代理人: 盧強(qiáng)

本實(shí)用新型公開了一種砂漿回流濾網(wǎng)機(jī)構(gòu)，包括第一管體，所述第一管體上密封連接有第二管體，所述第一管體與所述第二管體之間設(shè)置有濾芯；所述第一管體的內(nèi)部具有第一管腔和第二管腔，所述第二管腔的橫截面積大于所述第一管腔的橫截面積，所述第二管體具有第三管腔，所述第三管腔的橫截面積大于所述第一管腔的橫截面積。本實(shí)用新型通過該濾網(wǎng)結(jié)構(gòu)，一方面使得回流的路徑上的砂漿形成一定的緩沖作用，形成類似蓄能器的作用，另一方面利用該濾網(wǎng)結(jié)構(gòu)對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行過濾。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片加工用的砂漿裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種砂漿回流濾網(wǎng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

在硅片切割加工的過程中，砂漿是不可或缺的，并影響著硅片的制造質(zhì)量，在實(shí)際的使用過程中，砂漿在切割時(shí)會(huì)從切割處回流到回流缸，然后在重復(fù)利用，在這過程中，砂漿的流速、流量等都會(huì)對(duì)回流缸產(chǎn)生一定的影響，造成回流缸運(yùn)行不穩(wěn)等情況，另外在回流的過程中，切割產(chǎn)生的碎片也可能伴隨砂漿進(jìn)入回流缸，進(jìn)而對(duì)回流缸產(chǎn)生影響。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述存在的技術(shù)不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種砂漿回流濾網(wǎng)機(jī)構(gòu)，通過該濾網(wǎng)結(jié)構(gòu)，一方面使得回流的路徑上的砂漿形成一定的緩沖作用，形成類似蓄能器的作用，另一方面利用該濾網(wǎng)結(jié)構(gòu)對(duì)雜質(zhì)進(jìn)行過濾。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

本實(shí)用新型提供一種砂漿回流濾網(wǎng)機(jī)構(gòu)，包括第一管體，所述第一管體上密封連接有第二管體，所述第一管體與所述第二管體之間設(shè)置有濾芯；

其中，所述第一管體的內(nèi)部具有第一管腔和第二管腔，所述第二管腔的橫截面積大于所述第一管腔的橫截面積，所述第二管體具有第三管腔，所述第三管腔的橫截面積大于所述第一管腔的橫截面積。

優(yōu)選地，所述濾芯包括依次設(shè)置的第一濾網(wǎng)、第二濾網(wǎng)以及第三濾網(wǎng)，所述第一濾網(wǎng)與所述第二濾網(wǎng)之間、所述第二濾網(wǎng)與所述第三濾網(wǎng)之間均具有容置空間。

優(yōu)選地，所述第一濾網(wǎng)與所述第二濾網(wǎng)的結(jié)構(gòu)相同，且均為球面的一部分，所述第一濾網(wǎng)與所述第二濾網(wǎng)對(duì)扣抵緊在一起形成中間外凸的“橄欖球”狀；

所述第三濾網(wǎng)呈圓錐狀結(jié)構(gòu)，所述第二濾網(wǎng)抵緊在所述第三濾網(wǎng)的擴(kuò)口端處，并朝向所述第三濾網(wǎng)的尖端凸起。

優(yōu)選地，所述第一濾網(wǎng)與所述第二濾網(wǎng)可拆卸連接，所述第二濾網(wǎng)與所述第三濾網(wǎng)可拆卸連接。

優(yōu)選地，所述第一濾網(wǎng)與所述第二濾網(wǎng)之間設(shè)置隔墊。

優(yōu)選地，所述第一管體的端部開設(shè)有供所述第二濾網(wǎng)和所述第三濾網(wǎng)安裝的第一槽口，所述第二管體的端部開設(shè)有供所述第一濾網(wǎng)安裝的第二槽口。

優(yōu)選地，所述第一管體的內(nèi)壁上開設(shè)有若干個(gè)通孔，所述第二管腔通過所述通孔與所述第一管體的外部空間相通；

所述通孔內(nèi)密封設(shè)置有堵頭。

優(yōu)選地，所述第一管體與所述第二管體可拆卸連接。

本實(shí)用新型的有益效果在于：

本實(shí)用新型通過第一管體內(nèi)徑的變化，使得在砂漿回流的路徑上具有一段內(nèi)腔容積增加的路徑，進(jìn)而擴(kuò)張了管路，使得砂漿流動(dòng)時(shí)具有一定的緩沖作用，進(jìn)而能夠在一定程度上降低砂漿流動(dòng)不穩(wěn)的情況；

本實(shí)用新型的濾芯采用多個(gè)濾網(wǎng)的設(shè)置，一方面能夠?qū)ι皾{進(jìn)行過濾，另一方面能夠?qū)亓鞯纳皾{進(jìn)行一定程度的分流，進(jìn)一步降低砂漿流動(dòng)時(shí)帶來(lái)的沖擊。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。