[實用新型]一種防止反濺射物剝落的靶材組件有效
| 申請號： | 202022743310.6 | 申請日： | 2020-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN213772195U | 公開（公告）日： | 2021-07-23 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;章麗娜 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 防止 濺射 剝落 組件 | ||
1.一種防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述防止反濺射物剝落的靶材組件包括背板與靶材；
所述靶材包括濺射面、焊接面以及位于所述濺射面與焊接面之間的靶材側面；
所述背板的中心處向上突起形成凸臺，所述凸臺的上表面與所述靶材的焊接面相連接，所述凸臺的上表面與所述靶材的焊接面形狀大小完全相同，所述凸臺的縱截面呈現上粗下細的梯形，所述凸臺的側面與所述背板的邊緣處的上表面之間的夾角為75度-85度，所述凸臺的底部邊緣處設有背板倒圓角。
2.根據權利要求1所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述背板倒圓角的半徑為1.5-2.5mm。
3.根據權利要求1所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述防止反濺射物剝落的靶材組件包括噴砂區，所述噴砂區包括所述靶材側面延伸至所述背板倒圓角之間的區域。
4.根據權利要求3所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述噴砂區還包括所述背板倒圓角沿所述背板的邊緣處延伸的背板邊緣環，所述背板邊緣環的寬度為5-15mm。
5.根據權利要求3或4所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述噴砂區的粗糙度Ra為8-11μm。
6.根據權利要求1所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，在所述濺射面的邊緣設有斜面區，所述斜面區的斜面與所述濺射面的夾角為165±1度。
7.根據權利要求6所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述斜面區與所述濺射面的連接處設有第一斜面倒圓角。
8.根據權利要求7所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述第一斜面倒圓角的半徑為2.8-3.2mm。
9.根據權利要求6所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述斜面區與所述側面的連接處設有第二斜面倒圓角。
10.根據權利要求9所述的防止反濺射物剝落的靶材組件，其特征在于，所述第二斜面倒圓角的半徑為1.5-2.5mm。
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