[實用新型]氣體滲透測試多腔分布結構及氣體滲透測試設備有效
| 申請號： | 202022715422.0 | 申請日： | 2020-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN214066867U | 公開（公告）日： | 2021-08-27 |
| 發明（設計）人： | 姜允中 | 申請（專利權）人： | 濟南蘭光機電技術有限公司 |
| 主分類號： | G01N15/08 | 分類號： | G01N15/08 |
| 代理公司： | 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221 | 代理人： | 張勇 |
| 地址： | 250031 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體 滲透 測試 分布 結構 設備 | ||
1.一種氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，包括陣列式排布的多個測試腔體，各個測試腔的載氣進氣口分別通過分支管路與載氣進氣管路連通，各個測試腔的載氣出氣口分別通過分支管路與載氣出氣管路連通，載氣出氣管路與傳感元件連通。
2.如權利要求1所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，陣列式排布的多個測試腔體包括至少兩列測試單元，每列測試單元包括至少三個測試腔體。
3.如權利要求1所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，陣列式排布的多個測試腔體包括至少兩行測試單元，每行測試單元包括至少三個測試腔體。
4.如權利要求1所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，各個測試腔的載氣出氣口連通的分支管路分別通過切換閥分別與載氣出氣管路和排空管路連通。
5.如權利要求4所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，載氣出氣管包括一條主載氣出氣管和多條分支載氣出氣管，各個分支載氣出氣管分別與切換閥和主載氣出氣管連通。
6.如權利要求1所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，測試腔體包括分別帶有開口的第一測試腔體和第二測試腔體，第一測試腔體的開口和第二測試腔體的開口位置相對；
第一測試腔體上開有第一進氣口和第一出氣口，第二測試腔體上開有第二進氣口和第二出氣口，第一進氣口通過管路與測試氣體供給裝置連通，第一出氣口與第一排空管路連通；
第二進氣口與載氣供給裝置通過管路連通，第二出氣口連通的分支管路分別通過切換閥分別與載氣出氣管路和第二排空管路連通。
7.如權利要求1所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，載氣進氣管為一根主進氣管路，通過多條分支管路與各個測試腔連通。
8.如權利要求1所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，各個分支管路上均設有至少一個用于控制管路開閉的閥門。
9.如權利要求1所述的氣體滲透測試多腔分布結構，其特征在于，載氣出氣管路與傳感元件的連通管路上設有至少一個用于控制管路開閉的閥門；
或者，
陣列式排布為矩形陣列或者環形陣列或者曲線陣列。
10.一種氣體滲透測試設備，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的氣體滲透測試多腔分布結構。
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