[實用新型]一種電子半導體生產設備的卡接式防護組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022709416.4
• 申請日: 2020-11-21
• 公開（公告）號: CN213615867U
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 孫云
• 申請（專利權）人: 蘇州卡斯琳機械有限公司
• 主分類號: B24B19/22
• 分類號: B24B19/22;B24B41/06;B24B41/02;B24B47/22;B24B55/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種電子半導體生產設備的卡接式防護組件，其特征在于：包括機身（1），所述機身（1）內部固定連接有工作臺（6），所述機身（1）外側固定連接有固定座（7），所述機身（1）下表面固定連接有支撐腳（2），所述機身（1）外側設置有防護機構，所述防護機構內部設置有清灰機構，所述防護機構內部設置有卡接機構。

2.根據權利要求1所述的一種電子半導體生產設備的卡接式防護組件，其特征在于：所述防護機構包括防護門（3），所述防護門（3）外側轉動連接有鉸鏈（21），所述鉸鏈（21）遠離防護門（3）的一端轉動連接在機身（1）外側，所述防護門（3）內壁固定連接有玻璃窗（4），所述防護門（3）下表面固定連接有密封墊（26），所述防護門（3）外側固定連接有前支架（19），所述機身（1）上表面固定連接有后支架（23），所述前支架（19）與后支架（23）之間轉動連接有助力液壓缸（22）。

3.根據權利要求2所述的一種電子半導體生產設備的卡接式防護組件，其特征在于：所述清灰機構包括電機（8）、鼓風機（9），所述電機（8）、鼓風機（9）均固定連接在固定座（7）上表面，所述電機（8）輸出端與鼓風機（9）轉動連接，所述鼓風機（9）上表面固定連接有第一氣管（10），所述第一氣管（10）遠離鼓風機（9）的一端固定連接在防護門（3）的外側，所述防護門（3）內壁固定連接有第一接頭（20），所述第一氣管（10）通過第一接頭（20）與防護門（3）固定連接。

4.根據權利要求3所述的一種電子半導體生產設備的卡接式防護組件，其特征在于：所述防護門（3）內部固定連接有第二接頭（17），所述防護門（3）內部開設有通氣孔（24），所述通氣孔（24）與第二接頭（17）貫通，所述第一接頭（20）與第二接頭（17）之間固定連接有第二氣管（18）。

5.根據權利要求4所述的一種電子半導體生產設備的卡接式防護組件，其特征在于：所述卡接機構包括門把手外殼（5），所述門把手外殼（5）固定連接在防護門（3）外壁，所述門把手外殼（5）內部滑動連接有拉手（12），所述拉手（12）與門把手外殼（5）之間設置有彈簧（11），所述拉手（12）上表面搭接有鋼絲繩（13）。

6.根據權利要求5所述的一種電子半導體生產設備的卡接式防護組件，其特征在于：所述鋼絲繩（13）兩端分別固定連接有第一掛鉤（16）、第二掛鉤（25），所述第一掛鉤（16）、第二掛鉤（25）均轉動連接在防護門（3）內部，所述第一掛鉤（16）、第二掛鉤（25）之間設置有拉簧（14），所述機身（1）內部固定連接有搭扣（15）。