[實(shí)用新型]一種反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022694383.0
• 申請(qǐng)日: 2020-11-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213242515U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃自柯;江獻(xiàn)茂;趙晗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 冠禮控制科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 楊軍

1.一種反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，包括晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)、載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)、凸輪連桿組(3)、立柱直線運(yùn)動(dòng)單元(4)、平臺(tái)聯(lián)動(dòng)鎖定單元(5)、晶圓組導(dǎo)向單元(6)、晶圓組夾持單元(7)，其特征在于：所述晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)、載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)、晶圓組夾持單元(7)、晶圓組導(dǎo)向單元(6)由下至上依次布置在立柱直線運(yùn)動(dòng)單元(4)上，且沿立柱直線運(yùn)動(dòng)單元(4)的運(yùn)動(dòng)軸方向同軸布局，所述凸輪連桿組(3)、平臺(tái)聯(lián)動(dòng)鎖定單元(5)安裝于立柱直線運(yùn)動(dòng)單元(4)的兩側(cè)，且與晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)、載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)、晶圓組導(dǎo)向單元(6)、晶圓組夾持單元(7)錯(cuò)開(kāi)布置，所述晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)、載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)分別與凸輪連桿組(3)、平臺(tái)聯(lián)動(dòng)鎖定單元(5)連接，并通過(guò)平臺(tái)聯(lián)動(dòng)鎖定單元(5)實(shí)現(xiàn)開(kāi)鎖分離，所述載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)設(shè)于晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)之上，所述載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)上置有晶圓載具(8)，所述晶圓載具(8)內(nèi)放置有晶圓組(9)，所述晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)在凸輪連桿組(3)的帶動(dòng)下作上下運(yùn)動(dòng)，并將晶圓載具(8)內(nèi)的晶圓組(9)頂出于晶圓載具(8)上方，以進(jìn)入晶圓組導(dǎo)向單元(6)內(nèi)，所述晶圓組夾持單元(7)安裝在晶圓組導(dǎo)向單元(6)內(nèi)，并對(duì)分離出的晶圓組(9)進(jìn)行軸向定位。

2.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)包括平臺(tái)懸臂(10)，所述平臺(tái)懸臂(10)呈L型結(jié)構(gòu)，所述平臺(tái)懸臂(10)頂端連接凸輪連桿組(3)，并在凸輪連桿組(3)的帶動(dòng)下作上下運(yùn)動(dòng)，所述平臺(tái)懸臂(10)上安裝有垂直布置的刀型托架(11)，所述刀型托架(11)由下至上以線接觸形式對(duì)晶圓組(9)進(jìn)行垂直方向約束，所述刀型托架(11)頂端設(shè)有V形定位塊(12)，所述V形定位塊(12)與晶圓組(9)底部接觸連接。

3.如權(quán)利要求2所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述平臺(tái)懸臂(10)與刀型托架(11)采用不可拆卸的一體式結(jié)構(gòu)。

4.如權(quán)利要求2或3所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)包括L型支撐架(13)，所述L型支撐架(13)由垂直支撐桿和水平支撐桿構(gòu)成，所述水平支撐桿位于晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)的V形定位塊(12)下方，所述晶圓組(9)置于水平支撐桿上，且晶圓組(9)底部與V形定位塊(12)接觸連接。

5.如權(quán)利要求4所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述凸輪連桿組(3)包括凸輪塊(14)、連桿A(15)、連桿B(16)，所述連桿A(15)一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸A(17)連接晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)，所述轉(zhuǎn)軸A(17)可滑動(dòng)式連接在立柱直線運(yùn)動(dòng)單元(4)的導(dǎo)軌(18)上，并沿導(dǎo)軌(18)上下移動(dòng)，所述連桿A(15)另一端通過(guò)惰輪(19)與連桿B(16)一端鉸接，所述連桿B(16)另一端通過(guò)轉(zhuǎn)軸B(20)連接載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)，且轉(zhuǎn)軸B(20)可旋轉(zhuǎn)式連接在導(dǎo)軌(18)上，所述惰輪(19)沿凸輪塊(14)向上/下移動(dòng)后，帶動(dòng)連桿A(15)與晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)向上/下移動(dòng)。

6.如權(quán)利要求5所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述凸輪塊(14)左側(cè)下部沿邊緣設(shè)有垂直布置的同動(dòng)段(21)，所述凸輪塊(14)左側(cè)上部沿邊緣設(shè)有弧形布置的分離段(22)，所述惰輪(19)自同動(dòng)段(21)進(jìn)入分離段(22)后，所述連桿A(15)帶動(dòng)晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)向上移動(dòng)并實(shí)現(xiàn)晶圓組(9)與晶圓載具(8)的分離。

7.如權(quán)利要求6所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述晶圓組導(dǎo)向單元(6)內(nèi)設(shè)置有V形導(dǎo)向溝，所述V形導(dǎo)向溝與晶圓載具(8)內(nèi)的V形導(dǎo)向溝尺寸及形狀一致。

8.如權(quán)利要求7所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述晶圓組夾持單元(7)內(nèi)嵌于晶圓組導(dǎo)向單元(6)內(nèi)，并在晶圓組導(dǎo)向單元(6)進(jìn)行導(dǎo)向作業(yè)時(shí)隱藏在晶圓組導(dǎo)向單元(6)的V形導(dǎo)向溝內(nèi)側(cè)以與底部平面融為一體，所述晶圓組夾持單元(7)在夾持作業(yè)時(shí)將旋轉(zhuǎn)高出V形導(dǎo)向溝內(nèi)測(cè)，并與晶圓組(9)接觸形成軸向約束。

9.如權(quán)利要求1所述的反應(yīng)槽內(nèi)晶圓組分離裝置，其特征在于：所述晶圓組運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(1)、載具運(yùn)動(dòng)平臺(tái)(2)、凸輪連桿組(3)、立柱直線運(yùn)動(dòng)單元(4)、平臺(tái)聯(lián)動(dòng)鎖定單元(5)、晶圓組導(dǎo)向單元(6)、晶圓組夾持單元(7)分別通過(guò)線路連接控制系統(tǒng)。