[實用新型]玻璃晶圓吸附裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022688313.4
• 申請日: 2020-11-19
• 公開（公告）號: CN213601851U
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬峰
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇美倫光電有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 南京業(yè)騰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 董存壁

本實用新型公開了玻璃晶圓吸附裝置，包括底座，所述底座的表面安裝有放置臺，且放置臺的內(nèi)側(cè)表面設(shè)置有凹槽，所述底座的外側(cè)表面安裝有豎桿，所述豎桿的內(nèi)側(cè)表面開設(shè)有滑道，且滑道的內(nèi)側(cè)安置有移動臺，所述移動臺的內(nèi)部中間設(shè)置有圓槽，所述放置臺的底部安裝有底板。本實用新型提供了玻璃晶圓吸附裝置，放置臺與底板之間相互配合，根據(jù)實際晶圓的尺寸，利用伸縮桿將放置臺向往外側(cè)移動，大大增加了放置臺的靈活性，放置臺內(nèi)側(cè)設(shè)置有凹槽，凹槽與放置臺之間為一體化連接，且一共設(shè)置有四組放置臺，四組凹槽拼接在一起組成一個圓形，能夠符合晶圓的外形，根據(jù)晶圓的實際尺寸，將晶圓放置在托塊上，并且配合彈力拉網(wǎng)可以從底部托住晶圓。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及玻璃晶圓技術(shù)領(lǐng)域，具體為玻璃晶圓吸附裝置。

背景技術(shù)

玻璃晶圓晶是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，然后經(jīng)過切割拋光，形成晶圓，晶圓在半導(dǎo)體材料上具有重要作用，尤其是應(yīng)用于電路上，另外，玻璃晶圓作為半導(dǎo)體材料的典型代表，使得玻璃晶圓的應(yīng)用范圍大大增加，尤其是新能源的開發(fā)上，玻璃晶圓都可以利用自身的特性起到至關(guān)重要的作用。現(xiàn)有的玻璃晶圓在使用時，由于厚度較薄，需要使用吸附裝置來進行拿取，常用的吸附裝置上的放置機構(gòu)不夠靈活性，不能夠進行移動調(diào)整，這樣就大大降低的裝置的靈活性，另外，吸附機構(gòu)的角度不方便進行調(diào)整，不能夠根據(jù)實際的情況來進行調(diào)節(jié)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供玻璃晶圓吸附裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：玻璃晶圓吸附裝置，包括底座，所述底座的表面安裝有放置臺，且放置臺的內(nèi)側(cè)表面設(shè)置有凹槽，所述底座的外側(cè)表面安裝有豎桿，所述豎桿的內(nèi)側(cè)表面開設(shè)有滑道，且滑道的內(nèi)側(cè)安置有移動臺，所述移動臺的內(nèi)部中間設(shè)置有圓槽，所述放置臺的底部安裝有底板，且底板的內(nèi)部安裝有伸縮桿。

優(yōu)選的，所述凹槽的內(nèi)側(cè)包括有彈力拉網(wǎng)和托塊，且彈力拉網(wǎng)的一端連接有托塊。

優(yōu)選的，所述凹槽與放置臺之間為一體化連接，且凹槽通過彈力拉網(wǎng)與托塊之間相互連接。

優(yōu)選的，所述移動臺的表面包括有圓臺、圓桿、壓桿和連接片，且圓臺的表面安裝有圓桿，所述圓桿的外側(cè)安置有壓桿，所述圓桿的下端連接有連接片。

優(yōu)選的，所述圓臺與移動臺之間尺寸相互嵌合，且圓桿關(guān)于圓臺的中心線呈環(huán)狀分布。

優(yōu)選的，所述圓槽的內(nèi)側(cè)包括有圓孔、拉板、橡膠皮和吸盤，且圓孔的內(nèi)部設(shè)置有拉板，所述拉板的表面連接有橡膠皮，且橡膠皮的內(nèi)側(cè)表面設(shè)置有吸盤。

優(yōu)選的，所述圓孔的外部形狀呈“L”型，且拉板與圓孔均關(guān)于圓槽的中心線呈環(huán)狀分布。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型提供了玻璃晶圓吸附裝置，放置臺與底板之間相互配合，根據(jù)實際晶圓的尺寸，利用伸縮桿將放置臺向往外側(cè)移動，大大增加了放置臺的靈活性，放置臺內(nèi)側(cè)設(shè)置有凹槽，凹槽與放置臺之間為一體化連接，且一共設(shè)置有四組放置臺，四組凹槽拼接在一起組成一個圓形，能夠符合晶圓的外形，根據(jù)晶圓的實際尺寸，將晶圓放置在托塊上，并且配合彈力拉網(wǎng)可以從底部托住晶圓；

移動臺與滑道之間相互配合，移動臺可以沿著豎桿的豎直方向下移，讓圓臺更加靠近放置臺上的晶圓，然后，使用壓桿將圓臺下壓，讓圓臺繼續(xù)下移，直至套在晶圓的外側(cè)，圓臺與移動臺之間可以分離，大大增加了圓臺的靈活性；

圓槽采用的是“L”型的設(shè)計，這樣可以讓圓桿通過連接片與拉板之間相互連接，三者為一體結(jié)構(gòu)，當(dāng)圓桿上移時，會將拉板帶進圓槽中，橡膠皮會因為受到擠壓，而開始上下合并，促使橡膠皮上下兩側(cè)逐漸靠近晶圓的上下表面，直至夾住晶圓，吸盤會對晶圓進行吸附，增加整個過程的穩(wěn)定性，圓桿設(shè)置有多組，這樣可以隨意調(diào)節(jié)任意方向的吸盤，同時圓桿之間可以互相獨立使用，大大增加了靈活性。

附圖說明