[實用新型]微機電系統混合型濾波器

有效

• 申請號: 202022679526.0
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN213484833U
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 高安明;姜偉;劉偉
• 申請（專利權）人: 浙江信唐智芯科技有限公司
• 主分類號: H03H11/12
• 分類號: H03H11/12;H03H9/56;H03H9/60
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 祁春倪;郭國中

本實用新型提供了一種微機電系統混合型濾波器，包括諧振網絡以及連接在諧振網絡左右兩端的匹配網絡，左右兩端的匹配網絡相同；所述諧振網絡包括并聯連接的諧振器和電感L₀；所述匹配網絡包括一串聯電感L_s、一并聯電感L_p以及一并聯電容C_p，其中：串聯電感L_s一端與諧振器串聯連接，另一端作為輸入輸出端口；并聯電感L_p和并聯電容C_p的一端與諧振器串聯連接，另一端接地。本實用新型優化了濾波性能，解決了微機電系統并聯諧振網絡通帶較窄的問題。解決了常規基于聲波諧振器的濾波器需要多個諧振器的問題，從而大大降低了因某一諧振器故障導致整體濾波器失靈的風險，同時也提高了濾波器的功率容量。

技術領域

本實用新型涉及微機電系統領域，具體地，涉及一種微機電系統混合型濾波器。

背景技術

隨著5G通信濾波系統的發展，微機電系統濾波器因其小尺寸、低成本、高濾波性能等優越特性成為了一種最具發展前景的濾波器技術。現有技術中存在基于微機電系統的濾波器件(申請號為CN201910649705.9的中國專利)，該專利提出了一種級聯電感電容和聲學濾波器的混合濾波器。

現有技術的不足之處是：對微機電系統諧振器本身的性能要求較高，進而提高了濾波器的成本和加工難度，而本實用新型對微機電系統諧振器性能并沒有特殊的要求；一般基于微機電系統諧振器的濾波器很難達到較寬的帶寬，這是由微機電諧振器自身的特性導致的，然而本實用新型所提出的匹配網絡3具有拓寬通帶帶寬的能力，這對于微機電系統濾波器有著重大的意義；常規的濾波器性能很難通過優化得到顯著的提升，而本實用新型所提出的二階濾波器能夠很好的改善一階濾波器的帶寬、邊帶陡峭程度以及帶外抑制性；常規的濾波器往往由多個諧振器構成，這就存在著某一個諧振器異常導致整體濾波器失靈的風險，而本實用新型所提出的濾波器僅需一到兩個諧振器，大大的降低了這方面的風險，且提高了整體濾波器的功率容量；在很多微機電系統與集總元件混合的濾波器中，良好的帶寬、邊帶陡峭性以及帶外抑制性等濾波性能很難同時實現，往往需要犧牲某一項指標來達到設計要求，而本實用新型所提出的拓撲網絡可以通過調整集總元件的參數值來輕松實現各方面性能都優異的濾波器，使得該濾波器具有極強的實用性。

實用新型內容

針對現有技術中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種微機電系統混合型濾波器。

根據本實用新型提供的一種微機電系統混合型濾波器，包括諧振網絡以及連接在諧振網絡左右兩端的匹配網絡，左右兩端的匹配網絡相同；

所述諧振網絡包括并聯連接的諧振器和電感L₀；

所述匹配網絡包括一串聯電感L_s、一并聯電感L_p以及一并聯電容C_p，其中：串聯電感L_s一端與諧振器串聯連接，另一端作為輸入輸出端口；

并聯電感L_p和并聯電容C_p的一端與諧振器串聯連接，另一端接地。

優選地，所述諧振網絡與連接在諧振網絡兩端的匹配網絡形成一整體網絡，整體網絡的兩端分別連接一SMA接頭。

優選地，所述并聯電容C_p采用貼片電容。

優選地，所述并聯電感L_p采用貼片電感。

優選地，所述串聯電感L_s、并聯電感L_p以及并聯電容C_p組成一產生傳輸極點的LC帶通濾波器。

優選地，諧振網絡能夠實現具有一定帶寬和兩個較深傳輸零點的帶通濾波響應。

優選地，匹配網絡的頻率響應能夠與諧振網絡的頻率響應結合。