[實用新型]立式瓦片舟

有效

• 申請號: 202022678927.4
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN213366549U
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 李曉佳;王毅
• 申請（專利權）人: 揚州杰利半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 揚州市蘇為知識產權代理事務所(普通合伙) 32283
• 代理人: 葛軍

立式瓦片舟。提供了一種結構簡單，方便加工，提高適應性的立式瓦片舟。包括瓦形舟體，所述舟體的兩側均間隔設有定位槽，兩側定位槽內設有擋板，相鄰擋板之間用于放置晶片；所述舟體的底面為平面，所述舟體的中間設有水平底槽。所述舟體的一端設有推拉孔，所述推拉孔位于底槽的底部，所述推拉孔位于最外端擋板的外側。所述定位槽為長條形槽，所述定位槽內設有嵌塊一和嵌塊二，所述擋板位于嵌塊一和嵌塊二之間。本實用新型方便加工，操作可靠。

技術領域

本實用新型涉及晶片加工領域，尤其涉及一種立式瓦片舟。

背景技術

目前生產過程中使用的舟，包含針對不同晶圓尺寸不同的舟，由于生產產品多樣性及不同時段不同需求量，生產過程需配置多于正常使用的舟，且不便于生產產品的搭配（如不同直徑的晶片同時生產工作），導致治具的浪費和較大的投入，同時受作業環境特定要求，治具的存放還需增加更多的投入便于有效保持清潔，導致更大的投入，且不便于生產管理。

實用新型內容

本實用新型針對以上問題，提供了一種結構簡單，方便加工，提高適應性的立式瓦片舟。

本實用新型的技術方案為：包括瓦形舟體，所述舟體的兩側均間隔設有定位槽，兩側定位槽內設有擋板，相鄰擋板之間用于放置晶片；

所述舟體的底面為平面，所述舟體的中間設有水平底槽。

所述舟體的一端設有推拉孔，所述推拉孔位于底槽的底部，

所述推拉孔位于最外端擋板的外側。

所述定位槽為長條形槽，所述定位槽內設有嵌塊一和嵌塊二，所述擋板位于嵌塊一和嵌塊二之間。

還包括連接塊，所述連接塊可拆卸連接在定位槽內，所述連接塊用于封閉定位槽。

本實用新型在工作中，通過在舟體上設置定位槽，將擋板放置在定位槽內，這樣，相鄰擋板之間用于放置晶片，而且，不同尺寸規格的晶片可放置在不同位置的相鄰擋板之間，提高適應性。

將舟體的底面設置成平面，便于舟體水平穩定放置；同時，在舟體中間設置底槽，便于在擴散（如磷擴散）加工時，排出磷酸。

本實用新型方便加工，操作可靠。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖一，

圖2是本實用新型的結構示意圖二，

圖3是本實用新型的工作狀態圖，

圖4是嵌塊一和嵌塊二的連接結構示意圖，

圖中1是舟體，2是定位槽，3是擋板，4是晶片，5是平面，6是底槽，7是推拉孔，8是嵌塊一，9是嵌塊二。

具體實施方式

本實用新型如圖1-4所示，包括瓦形舟體1，所述舟體1的兩側均間隔設有定位槽2，兩側定位槽內設有擋板3，相鄰擋板之間用于放置晶片4；

所述舟體的底面為平面5，所述舟體的中間設有水平底槽6。

本實用新型在工作中，通過在舟體上設置定位槽，將擋板放置在定位槽內，這樣，相鄰擋板之間用于放置晶片，而且，不同尺寸規格的晶片可放置在不同位置的相鄰擋板之間，提高適應性。

將舟體的底面設置成平面，便于舟體水平穩定放置；同時，在舟體中間設置底槽，便于在擴散（如磷擴散）加工時，排出磷酸。

所述舟體的一端設有推拉孔7，所述推拉孔位于底槽的底部，

所述推拉孔7位于最外端擋板的外側。

設置推拉孔便于推拉舟體；同時，推拉孔與底槽連通，便于后續排出作業。