[實用新型]MEMS器件有效
| 申請號： | 202022675145.5 | 申請日： | 2020-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN214528128U | 公開（公告）日： | 2021-10-29 |
| 發明（設計）人： | 孟燕子;李剛;孫愷;榮根蘭 | 申請（專利權）人： | 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B7/00 | 分類號： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡純;張靖琳 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市工業*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 器件 | ||
1.一種MEMS器件，包括：
襯底，所述襯底具有第一空腔；
第一犧牲層，位于所述襯底的第一表面上，所述第一犧牲層中具有第二空腔；
振膜層，所述振膜層的至少一部分由所述第一犧牲層支撐，所述振膜層包括位于所述第二空腔上方的振膜；
第二犧牲層，位于所述振膜上，所述第二犧牲層具有第三空腔；
背極板層，位于所述第二犧牲層上，所述背極板層的至少一部分由第二犧牲層支撐，
其特征在于，所述第一空腔包括多個堆疊的通孔，多個所述通孔的中心線重合，且與所述振膜相對。
2.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述多個堆疊的通孔的直徑沿所述襯底的第一表面至第二表面依次減小。
3.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述第一空腔與所述襯底的第一表面的相交處呈直角或弧形。
4.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述第二空腔的中心線與所述第一空腔的中心線重合。
5.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述第三空腔的中心線與所述第一空腔的中心線重合。
6.根據權利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述背極板層包括下背極板，位于所述下背極板上的上背極板以及貫穿所述下背極板和上背極板的聲孔。
7.根據權利要求6所述的MEMS器件，其特征在于，所述背極板層還包括：位于所述下背極板的第二表面上的防粘結構。
8.根據權利要求6所述的MEMS器件，其特征在于，所述上背極板沿所述襯底第一表面上的長度小于所述下背極板沿所述襯底第一表面上的長度。
9.根據權利要求8所述的MEMS器件，其特征在于，還包括：位于所述上背極板第一表面上的第一電極和位于所述下背極板第一表面上的第二電極。
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