[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體加工裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022673931.1
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN213816106U
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹玉峰;陳躍華;方勇華;方小明
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江旭盛電子有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 溫州青科專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33390
• 代理人: 錢磊

1.一種半導(dǎo)體加工裝置，包括臺面(1)，其特征在于：所述臺面(1)的下表面固定連接有支撐腿(17)，所述臺面(1)的上表面固定連接有固定梁(2)，所述固定梁(2)的正面固定連接有控制箱(6)，所述控制箱(6)的下表面固定連接有液壓桿(5)，所述液壓桿(5)的底端固定連接有驅(qū)動裝置(4)，所述驅(qū)動裝置(4)的輸出端固定連接有打磨盤(3)，所述臺面(1)的上表面固定連接有第一固定板(7)，所述第一固定板(7)的左側(cè)開設(shè)有與右側(cè)相連通的第一活動孔(8)，所述第一活動孔(8)的內(nèi)部活動連接有第一活動軸(9)，所述第一活動軸(9)的右端固定連接有第一卡座(11)，所述第一卡座(11)的頂部開設(shè)有與第一卡座(11)內(nèi)部相連通的螺紋孔(14)，所述螺紋孔(14)的內(nèi)部螺紋連接有螺桿(15)，所述螺桿(15)的底端固定連接有擠壓板(13)，所述第一活動軸(9)的左端固定連接有轉(zhuǎn)盤(16)，所述轉(zhuǎn)盤(16)的左側(cè)固定連接有轉(zhuǎn)把(10)，所述臺面(1)的上表面固定連接有第二固定板(20)，所述第二固定板(20)的左側(cè)開設(shè)有與右側(cè)相連通的第二活動孔(21)，所述第二活動孔(21)的內(nèi)部活動連接有第二活動軸(23)，所述第二活動軸(23)的左端固定連接有第二卡座(22)，所述第二活動軸(23)的右端固定連接有轉(zhuǎn)板(24)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)板(24)的左側(cè)開設(shè)有與右側(cè)相連通的插孔(27)，所述第二固定板(20)的右側(cè)開設(shè)有插槽(26)，所述插孔(27)的內(nèi)部插接有插銷(25)，所述插銷(25)的左端與插槽(26)的內(nèi)部插接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工裝置，其特征在于：所述第一固定板(7)和第二固定板(20)的頂部分別開設(shè)有與第一活動孔(8)和第二活動孔(21)內(nèi)部相連通的潤滑孔(12)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工裝置，其特征在于：所述臺面(1)的上表面開設(shè)有開槽(18)，所述開槽(18)的左側(cè)內(nèi)壁搭接有毛刷(30)，所述毛刷(30)的右側(cè)固定連接有拉環(huán)(31)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體加工裝置，其特征在于：所述開槽(18)的左側(cè)內(nèi)壁開設(shè)有伸縮槽(28)，所述伸縮槽(28)的左側(cè)內(nèi)壁固定連接有彈簧(29)，所述彈簧(29)的右端與毛刷(30)的左側(cè)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體加工裝置，其特征在于：所述臺面(1)的下表面開設(shè)有與開槽(18)內(nèi)部相連通的除塵孔(19)。