[實(shí)用新型]一種空心陰極寬束考夫曼離子源

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022673690.0
• 申請(qǐng)日: 2020-11-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213340279U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔新軍;崔雨涵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 崔新軍
• 主分類號(hào): H01J27/14
• 分類號(hào): H01J27/14;H01J27/02
• 代理公司: 鄭州知己知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41132
• 代理人: 楊小燕

1.一種空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：包括放電室筒、陰極組件、陽(yáng)極、充氣嘴、離子引出系統(tǒng)和中和器，所述放電室筒的外側(cè)設(shè)置永磁鋼棒，所述放電室筒和永磁鋼棒均通過(guò)位于底部的后磁鋼座和位于頂部的前磁鋼座固定，所述陰極組件和所述陽(yáng)極同軸設(shè)置在所述放電室筒的內(nèi)部，所述離子引出系統(tǒng)設(shè)置在所述前磁鋼座的上部，所述中和器設(shè)置在所述離子引出系統(tǒng)的上部，所述陰極組件包括陰極、陰極座和陰極靴，所述陰極座的底部側(cè)面連接所述后磁鋼座，所述陰極為空心陰極鉭管且設(shè)置在所述陰極座的中心，所述陰極靴鑲嵌在所述陰極座上部的圓柱形筒內(nèi)，所述陰極靴的上部為倒錐形空心結(jié)構(gòu)，所述陰極靴的中心與所述陰極的內(nèi)部連通，所述充氣嘴與所述陰極和陰極靴的中心連通，所述陽(yáng)極設(shè)置在所述陰極組件的上部，所述離子引出系統(tǒng)的下表面中心設(shè)置散流器。

2.如權(quán)利要求1所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述陽(yáng)極的下部為空心圓柱體結(jié)構(gòu)，上部為錐臺(tái)形空心結(jié)構(gòu)，所述陽(yáng)極的錐臺(tái)形空心結(jié)構(gòu)的上端面面積大于下端面面積，所述空心圓柱體結(jié)構(gòu)的下端面與所述陰極靴的上部倒錐形空心結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)，所述錐臺(tái)形空心結(jié)構(gòu)的上端面與所述前磁鋼座的下端面相對(duì)應(yīng)。

3.如權(quán)利要求1所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述陽(yáng)極通過(guò)支撐組件與所述陰極座連接，所述支撐組件包括陽(yáng)極支柱和陽(yáng)極固定陶瓷柱，所述陽(yáng)極支柱通過(guò)所述陽(yáng)極固定陶瓷柱與所述陰極座連接，所述陽(yáng)極支柱包括陽(yáng)極陶瓷支柱和陽(yáng)極接線支柱，所述陽(yáng)極接線支柱同軸設(shè)置在所述陽(yáng)極陶瓷支柱的內(nèi)部。

4.如權(quán)利要求3所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述陽(yáng)極的下部水平向外延伸出固定片，所述陽(yáng)極支柱與所述固定片通過(guò)陶瓷螺母固定連接。

5.如權(quán)利要求1所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述永磁鋼棒的外側(cè)設(shè)置外罩，所述外罩的上部通過(guò)前端瓷塊與所述前磁鋼座連接，所述外罩的下部通過(guò)后端瓷塊與所述后磁鋼座連接。

6.如權(quán)利要求5所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述外罩的上部連接前蓋，所述前蓋的下表面通過(guò)所述前端瓷塊和屏柵瓷柱與所述前磁鋼座連接，所述前蓋的上表面連接中和器。

7.如權(quán)利要求6所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述離子引出系統(tǒng)包括屏極網(wǎng)柵和設(shè)置在所述屏極網(wǎng)柵上部的加速網(wǎng)柵，所述屏極網(wǎng)柵通過(guò)屏柵瓷柱與所述前磁鋼座連接，所述加速網(wǎng)柵與所述前蓋的下表面連接。

8.如權(quán)利要求7所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述散流器設(shè)置在所述屏極網(wǎng)柵的下表面中心處，所述散流器為圓柱體與圓錐體相連接組成的凸臺(tái)結(jié)構(gòu)，所述散流器設(shè)置與所述屏極網(wǎng)柵固定的連接孔，所述散流器的材質(zhì)為高純電子陶瓷或六硼化鑭。

9.如權(quán)利要求6所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述中和器包括中和鎢絲和中和瓷柱，所述中和瓷柱為一組，且與所述前蓋的上表面連接，所述中和鎢絲連接在所述中和瓷柱之間。

10.如權(quán)利要求7所述的空心陰極寬束考夫曼離子源，其特征在于：所述外罩的側(cè)部通過(guò)軸向角度調(diào)整器連接底座。