[實用新型]一種4H-SiC整流橋加工用光刻膠涂覆裝置

有效

• 申請號: 202022673593.1
• 申請日: 2020-11-18
• 公開（公告）號: CN213276256U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 蔡明挽
• 申請（專利權）人: 廣東深科電子有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 蘇映惜

1.一種4H-SiC整流橋加工用光刻膠涂覆裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端固接有支座(2)和支架(3)，所述支座(2)上側轉動連接有傳送軸(4)，所述傳送軸(4)前端連接有傳動組件(5)，所述傳送軸(4)外壁固接有傳送輥(6)，所述傳送輥(6)上傳動連接有傳送履帶(7)，所述傳送履帶(7)外壁均勻固接有若干個連接柱(8)，所述連接柱(8)另一端固接有托盤(9)，所述支架(3)左端固接有固定板(10)、滑軌(11)和支撐板(12)，所述支撐板(12)上設置有拉伸組件(13)，所述滑軌(11)左端滑動連接有滑塊(14)，所述滑塊(14)左端固接有升降板(15)，所述升降板(15)與固定板(10)之間設置有彈簧(20)，所述升降板(15)上設置有清掃組件(16)，所述升降板(15)下端固接有連桿(17)，所述連桿(17)下端安裝有噴膠頭(18)，所述噴膠頭(18)上端連通有噴膠軟管(19)，所述支架(3)上開設有兩個通槽。

2.根據權利要求1所述的一種4H-SiC整流橋加工用光刻膠涂覆裝置，其特征在于：所述傳動組件(5)包括第一電機(501)，所述第一電機(501)設置于底座(1)上端，所述第一電機(501)輸出端固接有第一帶輪(502)，所述傳送軸(4)前端固接有第二帶輪(503)，所述第二帶輪(503)與第一帶輪(502)之間傳動連接有第一皮帶(504)。

3.根據權利要求1所述的一種4H-SiC整流橋加工用光刻膠涂覆裝置，其特征在于：所述拉伸組件(13)包括第二電機(1301)和安裝座(1302)，所述第二電機(1301)和安裝座(1302)設置于支撐板(12)上端，所述安裝座(1302)前后壁轉動連接有轉桿(1303)，所述轉桿(1303)后端固接于第二電機(1301)輸出端，所述轉桿(1303)外壁設置有繞繩輪(1304)，所述繞繩輪(1304)上纏繞有牽引繩(1305)，所述牽引繩(1305)另一端固接于升降板(15)下端。

4.根據權利要求1所述的一種4H-SiC整流橋加工用光刻膠涂覆裝置，其特征在于：所述清掃組件(16)包括第一轉軸(1601)，所述第一轉軸(1601)轉動連接于升降板(15)左側，所述第一轉軸(1601)中部固接有第一直齒輪(1602)，所述升降板(15)下端設置有第三電機(1603)，所述第三電機(1603)輸出端固接有第二直齒輪(1604)，所述第二直齒輪(1604)與第一直齒輪(1602)嚙合傳動，所述第一轉軸(1601)下端安裝有清掃刷(1605)。

5.根據權利要求4所述的一種4H-SiC整流橋加工用光刻膠涂覆裝置，其特征在于：所述升降板(15)中部轉動連接有第二轉軸(21)，所述第二轉軸(21)和第一轉軸(1601)上端分別固接有第三帶輪(22)和第四帶輪(23)，所述第三帶輪(22)和第四帶輪(23)之間傳動連接有第二皮帶(24)，所述第二轉軸(21)下端安裝有刮板(25)。

6.根據權利要求1所述的一種4H-SiC整流橋加工用光刻膠涂覆裝置，其特征在于：所述托盤(9)上端開設有放置槽(26)。