[實用新型]一種基于微懸臂梁結構的F-P型光纖濕度傳感器有效
| 申請號： | 202022647591.5 | 申請日： | 2020-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN213957152U | 公開（公告）日： | 2021-08-13 |
| 發明（設計）人： | 郭允;陳敏;徐賁 | 申請（專利權）人： | 中國計量大學 |
| 主分類號： | G01N21/45 | 分類號： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 懸臂梁 結構 光纖 濕度 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于微懸臂梁結構的F-P型光纖濕度傳感器，由單模光纖，毛細管，金膜和濕敏薄膜組成，其特征是：單模光纖與毛細管無坍塌式熔接，單模光纖端面與毛細管端面涂覆的金膜形成一個空氣腔的F-P結構。
2.根據權利要求1所述的一種基于微懸臂梁結構的F-P型光纖濕度傳感器，其特征是：毛細管的長度為20μm～50μm，內徑為100μm～110μm。
3.根據權利要求1所述的一種基于微懸臂梁結構的F-P型光纖濕度傳感器，其特征是：所用金膜的厚度為0.1μm～0.15μm，其懸臂梁的長度為95μm～110μm，寬度為25μm～35μm，厚度為0.1μm～0.15μm。
4.根據權利要求1所述的一種基于微懸臂梁結構的F-P型光纖濕度傳感器，其特征是：所述的濕敏薄膜為瓊脂糖凝膠薄膜，其厚度為0.5μm～1.5μm。
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