[實用新型]一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備

有效

• 申請號: 202022644414.1
• 申請日: 2020-11-16
• 公開（公告）號: CN213184214U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 楊官瑜
• 申請（專利權）人: 河南航晨納米材料有限公司
• 主分類號: H01L21/48
• 分類號: H01L21/48
• 代理公司: 東莞市永邦知識產權代理事務所(普通合伙) 44474
• 代理人: 曾婉憶

1.一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，包括由真空腔室壁平面(201)包繞的真空腔室(100)，其特征在于：所述真空腔室(100)的內部安裝有可轉動的放卷軸(102a)和收卷軸(102b)，所述真空腔室(100)在放卷軸(102a)和收卷軸(102b)之間還設置有若干個可轉動的冷卻軸(103)，所述真空腔室壁平面(201)的外側設有分子泵法蘭接口(101)，所述真空腔室壁平面(201)的外側還設有離子注入法蘭接口(104)和磁過濾沉積法蘭接口(105)，所述離子注入法蘭接口(104)連接有離子注入裝置，磁過濾沉積法蘭接口(105)連接有磁過濾等離子體沉積裝置，分子泵法蘭接口(101)連接分子泵。

2.根據權利要求1所述的一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，其特征在于：所述分子泵法蘭接口(101)的數量為八個。

3.根據權利要求1所述的一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，其特征在于：所述離子注入法蘭接口(104)的數量為兩個。

4.根據權利要求1所述的一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，其特征在于：所述磁過濾沉積法蘭接口(105)的數量為六個。

5.根據權利要求1所述的一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，其特征在于：所述冷卻軸與分子泵法蘭接口、離子注入法蘭接口(104)或磁過濾沉積法蘭接口(105)中的一個或兩個正對設置。

6.根據權利要求1所述的一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，其特征在于，所述放卷軸(102a)和收卷軸(102b)分別設置于真空腔室(100)內的兩端。

7.根據權利要求1所述的一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，其特征在于，離子注入裝置或磁過濾等離子體沉積裝置能夠單獨或同時啟動。

8.根據權利要求1所述的一種用于COF基板的長距離寬幅柔性無膠基材的制備設備，其特征在于，所述磁過濾等離子體沉積裝置分別為兩組，分別為第一磁過濾等離子體沉積裝置和第二磁過濾等離子體沉積裝置。