[實用新型]一種飛秒激光錐孔加工系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022630051.6
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN213998253U
• 公開（公告）日: 2021-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓坤;解國良;蔡鑫;褚興榮;韓雪
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波齊云新材料技術(shù)有限公司
• 主分類號: B23K26/384
• 分類號: B23K26/384;B23K26/064
• 代理公司: 北京嘉途睿知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11793
• 代理人: 彭成

1.一種飛秒激光錐孔加工系統(tǒng)，包括飛秒激光器(1)、準直透鏡(2)、反射鏡(3)、平板玻璃(4)、聚焦鏡(5)和樣品臺(6)；其特征在于：

飛秒激光器(1)發(fā)出的水平激光經(jīng)過準直透鏡(2)進行擴束，擴束后的激光射入反射鏡(3)，并經(jīng)過反射后豎直射入到平板玻璃(4)，經(jīng)過平板玻璃(4)的折射后射入到聚焦鏡(5)，聚焦鏡(5)將激光匯聚到水平設(shè)置的樣品臺(6)上的樣品上進行加工；

平板玻璃(4)安裝在旋轉(zhuǎn)傾斜度調(diào)整座上，旋轉(zhuǎn)傾斜度調(diào)整座垂直于入射光設(shè)置；使得平板玻璃(4)可以在繞著入射光的軸線旋轉(zhuǎn)；同時旋轉(zhuǎn)傾斜度調(diào)整座可以調(diào)整平板玻璃(4)與入射光線的夾角的大小，使得光入射到平板玻璃(4)后出射時與入射光平行平移一段距離；

旋轉(zhuǎn)傾斜度調(diào)整座包括旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)、固定夾持器(8)和移動夾持器(9)；旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)呈桶型，旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)可以繞著垂直于桶的軸線旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)；固定夾持器(8)和移動夾持器(9)安裝在旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)的內(nèi)表面上，固定夾持器(8)具有一個球鉸(10)，球鉸(10)的一端固定在旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)的內(nèi)表面，球鉸(10)的另一端設(shè)置有夾持平板玻璃(4)的第一夾子(11)；

移動夾持器(9)設(shè)置在固定夾持器(8)的對側(cè)，且移動夾持器(9)包括設(shè)置在平行于旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)軸線的軌道和安裝在軌道上的滑塊(12)，軌道使得滑塊(12)可以沿著平行于旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)軸線的方向移動，移動由步進電機控制，位移可調(diào)；

滑塊(12)設(shè)置有限位孔，限位孔內(nèi)設(shè)置有連接到平板玻璃(4)的限位球、連接桿(13)和第二夾子(14)，限位球用于限位，使得第二夾子隨著滑塊的移動而擺動；滑塊(12)在軌道上平移時帶動限位孔沿著平行于旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)的軸線的方向移動，從而使得第二夾子(14)帶動平板玻璃(4)的一端沿著平行于旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)的軸線方向移動；同時由于另一端的固定夾持器(8)是不動的，因此使得平板玻璃(4)傾斜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛秒激光錐孔加工系統(tǒng)，其特征在于：聚焦鏡(5)的焦點位于樣品的下表面，且聚焦鏡(5)可以上下移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛秒激光錐孔加工系統(tǒng)，其特征在于：第一夾子(11)和第二夾子(14)與平板玻璃(4)的接觸為面接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛秒激光錐孔加工系統(tǒng)，其特征在于：飛秒激光器(1)為紅外飛秒激光器(1)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的飛秒激光錐孔加工系統(tǒng)，其特征在于：平板玻璃(4)為圓形平板玻璃(4)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的飛秒激光錐孔加工系統(tǒng)，其特征在于：當(dāng)平板玻璃(4)與旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)的軸線垂直時，旋轉(zhuǎn)環(huán)座(7)的轉(zhuǎn)軸與圓形平板玻璃(4)的軸線重合，且飛秒激光入射到圓形平板玻璃(4)的圓心。