[實(shí)用新型]一種防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022630025.3
• 申請日: 2020-11-13
• 公開（公告）號: CN213840465U
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王敏;吳漢濤;孫玨
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫恒大電子科技有限公司
• 主分類號: F17C3/00
• 分類號: F17C3/00;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/12
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本實(shí)用新型公開了液態(tài)氣儲罐技術(shù)領(lǐng)域的一種防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐，包括支撐機(jī)構(gòu)、外殼、罐體、防護(hù)機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)、監(jiān)測機(jī)構(gòu)和控制裝置，所述外殼通過螺栓固定連接在所述支撐機(jī)構(gòu)的頂部，所述罐體內(nèi)嵌在所述外殼的內(nèi)腔，所述防護(hù)機(jī)構(gòu)焊接在所述罐體的內(nèi)腔壁左右兩側(cè)，所述輸送機(jī)構(gòu)通過螺栓固定連接在所述罐體的內(nèi)腔底部右側(cè)，所述監(jiān)測機(jī)構(gòu)固定連接在所述罐體的前側(cè)壁上側(cè)中間處，該防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐，不會使罐體內(nèi)的液態(tài)氣流失完，在對罐體進(jìn)行修補(bǔ)后，半導(dǎo)體的加工還能夠繼續(xù)進(jìn)行，不會影響半導(dǎo)體的加工效率，能夠防止罐體的壓力過高而造成罐體的爆炸，避免財(cái)產(chǎn)損失和人員傷亡。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及液態(tài)氣儲罐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料，半導(dǎo)體在集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用，如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件，在半導(dǎo)體生產(chǎn)加工的時(shí)候需要用到液態(tài)氣儲罐儲存加工所需要的氣體。

現(xiàn)有的液態(tài)氣儲罐為單獨(dú)的罐體，當(dāng)液態(tài)氣儲罐反生泄漏時(shí)，不能夠及時(shí)的阻止泄露，造成液態(tài)氣的流失，直接影響半導(dǎo)體的加工，降低半導(dǎo)體的加工效率，并且由于沒有設(shè)置防護(hù)裝置，在液態(tài)氣儲罐壓力不夠穩(wěn)定時(shí)，容易造成液態(tài)氣儲罐爆炸，造成財(cái)產(chǎn)損失和人員受傷，為此我們提出了一種防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐，以解決上述背景技術(shù)中提出了現(xiàn)有的液態(tài)氣儲罐為單獨(dú)的罐體，當(dāng)液態(tài)氣儲罐反生泄漏時(shí)，不能夠及時(shí)的阻止泄露，造成液態(tài)氣的流失，并且由于沒有設(shè)置防護(hù)裝置，在液態(tài)氣儲罐壓力不夠穩(wěn)定時(shí)的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐，包括支撐機(jī)構(gòu)、外殼、罐體、防護(hù)機(jī)構(gòu)、輸送機(jī)構(gòu)、監(jiān)測機(jī)構(gòu)和控制裝置，所述外殼通過螺栓固定連接在所述支撐機(jī)構(gòu)的頂部，所述罐體內(nèi)嵌在所述外殼的內(nèi)腔，所述防護(hù)機(jī)構(gòu)焊接在所述罐體的內(nèi)腔壁左右兩側(cè)，所述輸送機(jī)構(gòu)通過螺栓固定連接在所述罐體的內(nèi)腔底部右側(cè)，所述監(jiān)測機(jī)構(gòu)固定連接在所述罐體的前側(cè)壁上側(cè)中間處，所述控制裝置通過螺栓固定連接在所述外殼的前側(cè)壁中間處，所述罐體的頂部中間處焊接有加注管，所述加注管的底部焊接有連通管，所述加注管的頂端貫穿所述外殼并延伸至所述外殼的頂部，所述罐體的頂部焊接有泄壓閥，所述泄壓閥的頂端貫穿所述外殼并延伸至所述外殼的頂部，所述控制裝置通過電線與所述泄壓閥、所述防護(hù)機(jī)構(gòu)、所述輸送機(jī)構(gòu)和所述監(jiān)測機(jī)構(gòu)電性連接。

優(yōu)選的，所述支撐機(jī)構(gòu)包括底座和支撐板，所述底座的頂部四角開有安裝孔，所述支撐板焊接在所述底座的頂部前后兩側(cè)。

優(yōu)選的，所述防護(hù)機(jī)構(gòu)包括隔板、感應(yīng)浮漂和電磁閥，所述隔板的右側(cè)壁中間處豎向開有滑槽，所述感應(yīng)浮漂滑動連接在所述滑槽的內(nèi)腔，所述電磁閥鑲嵌在所述隔板的頂部中間處。

優(yōu)選的，所述輸送機(jī)構(gòu)包括泵體、吸料管和出料管，所述吸料管螺接在所述泵體的左側(cè)壁，所述出料管螺接在所述泵體的頂部，所述出料管的右端貫穿所述罐體和外殼并延伸至所述外殼的外側(cè)。

優(yōu)選的，所述監(jiān)測機(jī)構(gòu)包括連接管、壓力表和壓力感應(yīng)器，所述壓力表螺接在所述連接管的頂部前側(cè)，所述壓力感應(yīng)器固定連接在所述罐體的內(nèi)腔頂部，且從左至右依次排列。

優(yōu)選的，所述控制裝置的前側(cè)壁上側(cè)鑲嵌有顯示屏，所述控制裝置的前側(cè)壁下側(cè)鑲嵌有控制按鈕。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1、該防護(hù)性能好的半導(dǎo)體生產(chǎn)加工用液態(tài)氣儲罐，通過防護(hù)機(jī)構(gòu)的使用，在液態(tài)氣儲罐發(fā)生泄露時(shí)，由于隔板將罐體分隔成三個(gè)單獨(dú)的密封腔室，當(dāng)一個(gè)腔室發(fā)生泄露時(shí)，其它兩個(gè)腔室內(nèi)的液態(tài)氣不會泄露，從而不會使罐體內(nèi)的液態(tài)氣流失完，在對罐體進(jìn)行修補(bǔ)后，半導(dǎo)體的加工還能夠繼續(xù)進(jìn)行，不會影響半導(dǎo)體的加工效率。