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[實用新型]一種冷卻裝置及冷卻設備有效

專利信息
申請號: 202022619579.3 申請日: 2020-11-12
公開(公告)號: CN213873406U 公開(公告)日: 2021-08-03
發明(設計)人: 不公告發明人 申請(專利權)人: 宣城睿暉宣晟企業管理中心合伙企業(有限合伙)
主分類號: F25D31/00 分類號: F25D31/00;H01L21/67
代理公司: 北京清大紫荊知識產權代理有限公司 11718 代理人: 秦亞群;彭一波
地址: 242074 安徽省宣城市宣城經*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 冷卻 裝置 設備
【說明書】:

實用新型提供了一種冷卻裝置,包括位于冷卻室的冷卻結構,冷卻結構包括氣盒,氣盒內設有冷卻水管,且氣盒上設有出氣部,冷卻水管內冷卻液用于對氣盒內的冷卻氣體降溫,并將冷卻后的冷卻氣體經出氣部排出至冷卻室,對冷卻室內的運輸載板及運輸載板上的工件進行降溫。冷卻裝置還包括位于冷卻室外部的冷卻氣循環結構,冷卻氣循環結構的一端與氣盒連通,冷卻氣循環結構的另一端與冷卻室連通。冷卻氣循環結構、氣盒、冷卻室三者形成冷卻氣體的閉環循環結構。該冷卻裝置具有結構簡單、冷卻效果好、效率高的優點,能夠確保工件輸出冷卻室的工藝質控要求,確保工件的合格率及生產效率。

技術領域

本實用新型涉及冷卻設備技術領域,具體為一種冷卻裝置及冷卻設備。

背景技術

在太陽能電池生產線上,電池片在其他腔室內輸出時為高溫狀態,約為200℃左右,需要將其放置在載板(輸送板)上并送入真空腔室內進行冷卻處理。太陽能電池生產工藝控制中,為確保電池片的轉換效率,需要嚴格限制電池片在真空腔室降溫后并輸出真空腔室時的溫度確保在120℃以下。

目前,通常在真空腔室內配備有冷卻器對載板上的電池片進行降溫。根據生產工藝要求,在真空腔室內,放置電池片的載板的溫度需要降低至100℃以下時,才能保證輸出真空腔室時電池片的溫度低于120℃。在正常生產過程中,載板在進入真空腔室后需要在20-30s內降低至100℃以下,目前現有冷卻器的冷卻能力有限,無法滿足載板在規定時間內冷卻至100℃以下,同時現有的冷卻器對載板及電池片進行冷卻的均勻性較差,會造成電池片及載板出現開裂及變形的風險,降低了電池片的合格率,嚴重影響電池片的正常生產。

因此,需要設計一種冷卻裝置,其能夠確被冷卻的工件能夠均勻且快速的降溫,保證工件合格率及生產效率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于解決現有的冷卻器不能均勻且快速的對進入冷卻室內的運輸載板及工件降溫的問題,提供了一種結構簡單、效率高、消耗低的冷卻裝置及冷卻設備,冷卻裝置能夠確保載有工件的運輸載板在進入冷卻室內能夠快速的降溫,避免其出現變形的問題,同時,能夠確保工件輸出冷卻室的工藝質控要求,確保工件的合格率及生產效率。

實現實用新型目的的技術方案如下:

本實用新型提供了一種冷卻裝置,包括位于冷卻室內的冷卻結構,冷卻結構包括氣盒,氣盒內設有冷卻水管,且氣盒上設有出氣部,冷卻水管內冷卻液用于對氣盒內的冷卻氣體降溫,并將冷卻后的冷卻氣體經出氣部排出至冷卻室,對冷卻內的運輸載板及運輸載板上的工件降溫。

冷卻裝置還包括位于冷卻室外部的冷卻氣循環結構,冷卻氣循環結構的一端與氣盒連通,冷卻氣循環結構的另一端與冷卻室連通。

冷卻氣循環結構、氣盒、冷卻室三者形成冷卻氣體的閉環循環結構。

冷卻裝置的工作原理是:首先,冷卻氣體與氣盒內的冷卻水管內的冷卻液熱交換進行降溫;其次,冷卻后的冷卻氣體在冷卻氣循環結構的作用下經出氣部排出至冷卻室;然后,冷卻氣體對冷卻室內的高溫高熱的運輸載板及運輸載板上的工件降溫;最后,進行熱交換的冷卻氣體在冷卻氣循環結構的作用下從冷卻室排出并輸送至氣盒內與冷卻水管內的冷卻液再次進行熱交換,冷卻氣體經冷卻氣循環結構在在氣盒與冷卻室之間不斷的循環,對冷卻室的壁、運輸載板、運輸載板上的工件降溫。

冷卻裝置的氣盒設置在冷卻室內,冷卻氣體能夠以更短的路徑直接對冷卻室內運輸載板及運輸載板上的工件進行降溫,相比設置在冷卻室外具有更好的冷卻效果,能夠在工藝控制要求的時間范圍內達到降溫的要求,避免運輸載板被破壞從而保證生產的效率,也能夠確保工件的質量;同時,冷卻氣體在冷卻氣循環結構、氣盒、冷卻室三者之間形成閉環結構,減少了冷卻氣體的消耗,并可保證足夠的冷卻能力。

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