[實用新型]一種用于對IC基板加工的載板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022605417.4 | 申請日: | 2020-11-12 |
| 公開(公告)號: | CN213835603U | 公開(公告)日: | 2021-07-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 付滿倉;沈樂 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州信立盛電子有限公司 |
| 主分類號: | C25D21/04 | 分類號: | C25D21/04;C25D17/06;H01L21/687 |
| 代理公司: | 無錫風(fēng)創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32461 | 代理人: | 邱國棟 |
| 地址: | 215000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 ic 加工 | ||
1.一種用于對IC基板加工的載板,包括載板(1)、在載板(1)內(nèi)設(shè)置有空腔、以及對IC基板進行夾緊的夾緊裝置(2),其特征在于,還包括固定設(shè)在載板(1)一端的兩個限位塊(9),所述限位塊(9)上開設(shè)有與載板(1)相連通的限位孔(11),所述限位孔(11)中可穿過支撐桿(4),且支撐桿(4)的一端與吸塵殼(3)的一端固定連接,所述吸塵殼(3)的頂部設(shè)置有吸塵口,其吸塵口可通過軟管與抽風(fēng)機相連接,所述限位塊(9)上設(shè)置有用于旋緊固定的旋緊螺帽(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于對IC基板加工的載板,其特征在于,所述載板(1)的其中兩個側(cè)面上開設(shè)有滑槽(7),所述滑槽(7)可與移動塊(5)上固定設(shè)置的滑塊(8)滑動而設(shè),所述移動塊(5)可移動設(shè)置在載板(1)的其中兩個側(cè)壁上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于對IC基板加工的載板,其特征在于,兩個所述移動塊(5)之間固定連接有固定塊(6),所述移動塊(5)上設(shè)置有用于旋緊固定的旋緊螺帽(10)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于對IC基板加工的載板,其特征在于,所述固定塊(6)和載板(1)的空腔一端均固定設(shè)置有夾緊裝置(2),所述夾緊裝置(2)包括支撐座(201)、固定設(shè)置在支撐座(201)上的定位板(202)、固定設(shè)置在定位板(202)一側(cè)的多根彈簧(203),所述彈簧(203)的一端與限位罩(204)之間固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于對IC基板加工的載板,其特征在于,所述限位罩(204)的底部設(shè)置有導(dǎo)向塊,所述支撐座(201)的頂部開設(shè)有導(dǎo)向槽,其導(dǎo)向塊滑動設(shè)置在導(dǎo)向槽中。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于對IC基板加工的載板,其特征在于,所述定位板(202)的頂部固定設(shè)置有第一定位塊(205),所述限位罩(204)的頂部固定設(shè)置有第二定位塊(207),所述第一定位塊(205)的一端固定設(shè)置有導(dǎo)向桿(206),其中導(dǎo)向桿(206)的一端穿過第二定位塊(207)上的通孔。
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