[實用新型]一種用于芯片制造的打磨裝置

有效

• 申請號: 202022582495.7
• 申請日: 2020-11-10
• 公開（公告）號: CN213917396U
• 公開（公告）日: 2021-08-10
• 發明（設計）人: 王飛;羅志云;潘夢瑜
• 申請（專利權）人: 恒泰柯半導體（上海）有限公司
• 主分類號: B24B7/16
• 分類號: B24B7/16;B24B7/22;B24B41/06;B24B55/06;B24B55/12;B24B55/00
• 代理公司: 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297
• 代理人: 周高

1.一種用于芯片制造的打磨裝置，其特征在于，包括底座，所述底座的上端固定連接有支架，所述支架內的頂部安裝有伸縮氣缸，所述伸縮氣缸的輸出端固定連接有橫板，所述橫板的底部連接有安裝座，所述安裝座的前端面上安裝有打磨機主體，所述底座的上端固定安裝有定位夾具臺，所述打磨機主體位于定位夾具臺的上方，所述定位夾具臺的一側設有固定板，所述固定板上貫穿設有吸塵管，所述吸塵管的一端朝向定位夾具臺的上表面，所述吸塵管的另一端與氣泵的輸入端相連通，所述氣泵的輸出端通過管道與集塵箱連通。

2.根據權利要求1所述的一種用于芯片制造的打磨裝置，其特征在于：所述支架的兩側內壁上均連接有安裝臺，所述安裝臺上設有垂直設置的導向桿，所述導向桿的上端貫穿橫板并與支架固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種用于芯片制造的打磨裝置，其特征在于：所述導向桿的外側套設有緩沖彈簧，所述緩沖彈簧的兩端分別與橫板和安裝臺固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種用于芯片制造的打磨裝置，其特征在于：所述定位夾具臺的上端面上設有矩形的芯片槽，所述芯片槽的四側內壁上均設有活動槽，所述活動槽內適配安裝有夾緊塊，所述夾緊塊的背側通過彈性件與活動槽的槽壁相連接。

5.根據權利要求4所述的一種用于芯片制造的打磨裝置，其特征在于：所述夾緊塊的前端面上沿長度方向開設有引腳槽，所述引腳槽內設有軟質保護層。

6.根據權利要求1所述的一種用于芯片制造的打磨裝置，其特征在于：所述支架的一側安裝有控制面板，所述控制面板分別與伸縮氣缸、打磨機主體和氣泵電性連接。