[實(shí)用新型]一種用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202022581714.X
• 申請(qǐng)日: 2020-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213274365U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于君成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 四川君誠(chéng)綠建機(jī)電安裝工程有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01D21/02
• 分類(lèi)號(hào): G01D21/02;B01L1/00;B01L9/02;B08B15/04
• 代理公司: 成都樂(lè)易聯(lián)創(chuàng)專(zhuān)利代理有限公司 51269
• 代理人: 余哲瑋

1.一種用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：包括無(wú)塵室、安全柜、超凈臺(tái)、排氣機(jī)構(gòu)、監(jiān)控裝置和控制器，所述無(wú)塵室頂部設(shè)有進(jìn)氣管和排氣管，所述安全柜和超凈臺(tái)均安裝在無(wú)塵室內(nèi)，所述安全柜包括柜體、置物架、集氣罩、抽氣管和抽氣泵，所述柜體上安裝有柜門(mén)，柜體內(nèi)安裝有置物架，置物架遠(yuǎn)離柜門(mén)一側(cè)的柜體內(nèi)部安裝有集氣罩，所述集氣罩通過(guò)抽氣管與排氣機(jī)構(gòu)連接，所述抽氣管內(nèi)安裝有帶動(dòng)空氣朝向排氣機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)的抽氣泵，所述超凈臺(tái)包括操作臺(tái)、供氣管、透明擋板、廢氣管和排氣扇，所述操作臺(tái)頂部設(shè)有與進(jìn)氣管連通的供氣管，供氣管一側(cè)的操作臺(tái)上設(shè)有透明擋板，操作臺(tái)下方安裝有與排氣機(jī)構(gòu)連接的廢氣管，所述廢氣管內(nèi)安裝有排氣扇，所述安全柜和超凈臺(tái)與排氣機(jī)構(gòu)并聯(lián)，排氣機(jī)構(gòu)與無(wú)塵室的排氣管連接，所述監(jiān)控裝置安裝在無(wú)塵室、安全柜和超凈臺(tái)上，監(jiān)控裝置與控制器連接，控制器與抽氣泵和排氣扇連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述排氣機(jī)構(gòu)包括三通管道、變頻增壓泵和流量調(diào)節(jié)板，所述三通管道的兩個(gè)進(jìn)氣口分別與抽氣管和廢氣管連接，三通管道的另一個(gè)排氣口與排氣管連接，三通管道的排氣口處安裝有將廢棄送入排氣管的變頻增壓泵，所述變頻增壓泵的最大功率大于抽氣泵和排氣扇的功率的總和，所述流量調(diào)節(jié)板安裝在抽氣管與廢氣管的連接處。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述流量調(diào)節(jié)板包括轉(zhuǎn)軸、第一封堵板、第二封堵板和扭簧，所述轉(zhuǎn)軸固定在三通管道內(nèi)，第一封堵板通過(guò)扭簧鉸接在轉(zhuǎn)軸上并與第一封堵板配合，第二封堵板通過(guò)扭簧鉸接在轉(zhuǎn)軸上并與第二封堵板配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述監(jiān)控裝置包括流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、危害氣體檢測(cè)儀和活動(dòng)支架，所述流量傳感器、壓力傳感器和溫度傳感器安裝在無(wú)塵室、安全柜、超凈臺(tái)和排氣機(jī)構(gòu)中，所述危害氣體檢測(cè)儀通過(guò)活動(dòng)支架安裝在超凈臺(tái)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器、危害氣體檢測(cè)儀均與控制器連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述活動(dòng)支架包括直線(xiàn)軸承、軸承座，支撐套、光桿、絲桿和滑動(dòng)塊，所述直線(xiàn)軸承有兩根，均豎直安裝在超凈臺(tái)內(nèi)，每根直線(xiàn)軸承上均設(shè)有電動(dòng)機(jī)，且每根直線(xiàn)軸承上均套裝有軸承座，兩個(gè)軸承座等高，兩個(gè)軸承座上均套裝有支撐套，所述光桿和絲桿平行，光桿與絲桿的兩端分別與支撐套連接，所述支撐套上安裝有帶動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述光桿和絲桿上安裝有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊上加工有固定危害氣體檢測(cè)儀的定位孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于安全柜及超凈臺(tái)的監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于：所述電動(dòng)機(jī)和電機(jī)均與控制器連接。